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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
BV 300バタフライバルブは半導体、平板表示、結晶シリコン太陽エネルギーと工業プロセスに広く応用され、チャンバの下流圧力を制御し、過酷なプロセス条件下での急速な制御圧需要をカスタマイズして解決することができる。
製品詳細
革新的なポイント
2パス自己整合圧力センシング技術
2ウェイ真空ゲージ信号の収集をサポートし、±15 Vまたは+24 V真空ゲージの電力供給に対応し、プロセスの需要に応じて自動的にレンジを切り替えることができる。
L-V-P圧力制御技術
圧力制御ユニットはプロセス環境下の圧力とバルブ開度の関係を記録することによって、位置、速度と圧力の3つのリングを用いて契約を結ぶ時に圧力比、位置圧比、目標圧力位置、目標圧力に到達する推定時間の長さの動的計算を行い、それによって能動的にバルブ開度の変化量に介入し、迅速、安定制御圧を実現する。
自己学習機能技術
自己学習機能をサポートし、異なるチャンバ真空システムと異なる動作状況に適応でき、迅速で正確な圧力制御を実現する。
サーボ駆動技術
カスタムサーボ制御片載システムを採用し、多点ランプ制御アルゴリズムを通じて、蝶板のより速い位置決めを実現し、スイッチ応答時間は0.2 sに達することができる。
応用分野
半導体-集積回路
半導体-パッケージ
半導体ディスプレイ
はんどうたいしょうめい
半導体-マイコン電気システム
パワー半導体
化合物半導体
技術指標
| モデル | BV300 |
| フランジ端インタフェースの形式と大きさ | ISO-KF:DN40、DN50;ISO-F: DN63、DN80、DN100、DN160、DN200 |
| ろうえいりつ | 1×10E-9 mbar l/秒 |
| 圧力範囲（20℃の場合） | 1×10E-8mbar-1.2bar（ABS） |
| 圧力制御精度 | 5 mV or 0.1%of setpoint,両方を取る |
| センサ入力信号 | 0〜10VDC |
| 材質 | バルブボディ/バルブプレート：316 L/アルミニウム、シールリング：フッ素ゴム/パーフルオロ |
| 位置解像度 | 12800（90°角） |
| レスポンス時間 | 非密封タイプ：スイッチ0.2 S、密封タイプ：スイッチ0.6 S |
| 通信インタフェース | D-サブ、DB-25女性、RS422/RS485、RS232、DeviceNet、EtherCAT |
| 給電インタフェース | D-サブ、DA-15男性、+24 VDC（±10%）@0.5 V pk-pk最高 |
| 真空ゲージインタフェース（センサインタフェース） | D-Sub、DA-15女性 |
| 運転環境温度 | 0℃to+50℃max.（推奨<35℃） |
| 設置場所 | 水平および垂直の取り付け |
注意：
バタフライバルブの出荷時にはセンサ信号を電圧で標定することが多い
ガス圧力の単位は、Torr（Torr）、mbar（ミリバール）
標準状態は：温度--273.15 K（0℃）、気圧：101325 Pa（760 mm Hg）
F.S.（フルスケール）：フルレンジ値、S.P.（Set Point）：設定点値
