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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
BV 100バタフライバルブは半導体、平板表示、結晶シリコン太陽光と工業プロセスに広く応用され、チャンバの下流圧力を制御するために使用されている。
製品詳細
革新的なポイント
2パス自己整合圧力センシング技術
2ウェイ真空ゲージの信号収集をサポートし、±15 V或いは±24 V真空ゲージの電力供給に対応し、プロセスの需要に応じて自動的にレンジを切り替えることができる。
L-V-P圧力制御技術
圧力制御ユニットはプロセス環境下の圧力とバルブ開度の関係を記録することによって、位置、速度と圧力の3つのリングを用いて結合し、同時に圧力比、位置圧力比、目標圧力位置、目標圧力に到達する推定時間の長さの動的計算を行い、それによって弁口開度の変化量に積極的に介入し、迅速、安定制御圧を実現する。
サーボ駆動技術
カスタムサーボ制御片載システムを採用し、多点ランプ制御アルゴリズムを通じて、蝶板のより速い位置決めを実現し、スイッチ応答時間は0.2 sに達することができる。
応用分野
半導体-集積回路
半導体ディスプレイ
技術指標
| モデル | BV100 |
| 湿度 | 0〜95%RH |
| インタフェースタイプ | D-サブ女性、DA15 |
| しんごうでんあつ | 0～10 VDC線形圧力 |
| ADC分解能 | 0.1 mV |
| サンプリング時間 | 2ms |
| 給電電圧（出力） | +24 VDC/最大1.5A。 |
| エグゼキューター | ステッピングモータ |
| モータ分解能 | 12800( 90°） |
| せいぎょあつせいど | 5 mVまたはセットポイントの0.1%を大きくして |
| 保護等級 | IP 40 の |
| チャネル内径 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm |
| バルブプレート開閉時間 | 0.2秒 |
注意：
バタフライバルブの出荷時にはセンサ信号を電圧で標定することが多い
ガス圧力の単位は、Torr（Torr）
標準状態は：温度--273.15 K（0℃）、気圧：101325 Pa（760 mm Hg）
F.S.（フルスケール）：フルレンジ値、S.P.（Set Point）：設定点値
