Thermo Scientific™ Apreo ChemiSEM™電界放出電子顕微鏡は、高性能で高品質なイメージングが好ましい。要素成分と構造解析を統合した自動ワークフローにより、さまざまな経験を持つユーザーが簡単に高品質データを取得できます。

Apreo Chemisemは、大規模な研究機関や工業顧客に、さまざまなサンプルと異なる経験レベルのユーザーに適した全体統合された分析技術と完全な分析結果。複数のユーザーと複数のサンプルタイプを使用する多機能実験室にとって、このシステムの新しいスマートフレーム積分（SFI）、オートフォーカス、自動非点収差機能は、手動で調整する必要なく、画像収集パラメータを自動的に最適化し、データを収集することができる。システムは常に良好な状態を維持し、いつでもイメージングを行うことができ、ユーザーが必要なデータの取得に集中する時間を増やすことができます。

ChemiPhaseを用いて鋼材中の複合介在物を相分析した。ChemiPhaseは各種介在物を効果的に鑑定し、各種介在物の成分と面積分率を取得し、意外な相を容易に検出することができ、1回の分析で完全な情報を抽出することができる。

主な特徴

高解像度イメージング性能：Thermo Scientific™ Trinity™ プローブ検出システムおよび自動化技術は、さまざまなアプリケーションにおけるデータ収集作業を簡略化する

*の最適化分析ソリューション：TrueSightPro EDS検出器、ChemiSEM技術とTruePix EBSD検出器はサンプルを完全に全面的に特徴づけることができる

統合ワークフロー：MAPSソフトウェア、カスタムスクリプト、CleanConnectに対応™，兼用性により、ユーザーは分析プロセスを全面的に制御することができます

Apreo Chemisemシステムには、運用をシンプル化し、結果の信頼性を確保するための3つの*機能が統合されています：Thermo Scientic™ ChemiSEM ™ 技術、新型TruePix後方散乱電子回折計（EBSD）及び独自のThermo Scientic™Trinity ™ 鏡筒内探査システム。

ChemiSEM技術は全自動リアルタイム定量アルゴリズムを用いてイメージングだけでは気づかない特徴を提示し、サンプルにより完全な情報を提供する。この機能は、いつでも動作し、使いやすく、結果をより迅速に提供し、ユーザーの偏りを解消するのに役立ちます。

TruePix EBSD検出器はApreo ChemiSEMシステムと組み合わせて使用され、応用範囲を拡大することができる。新しいEBSDソフトウェアは、検出器を制御し、ユーザーがパラメータ設定、データ収集、データ処理を完了するように誘導するために使用できます。

Trinity鏡筒内検出システムは、ETDまたはBSD検出器を使用する必要なく、高品質の形態、極表面、成分情報の同期収集を実現することができる。

1 kV電圧で電子ビームを減速させずに0.9 nmのZUI高分解能を得る独自の信号フィルタオプションを備えている。

Apreo ChemiSEMシステムは高解像度イメージング、元素分析と構造分析を結合し、ユーザーに各タイプの材料を分析する強力なツールを提供する。

電子光学

•高解像度電界放出SEM鏡筒は以下の特徴がある：

-高安定ショットキー電界発射銃、安定した高分解能分析ビーム流を提供する

-静電レンズ、無漏れ磁性レンズ、浸漬磁性レンズを組み合わせた複合最終レンズ（オプション）

-60°対物レンズ幾何構造で、大きいサンプルの傾斜を許可する

-自己加熱絞りによる清浄度確保、無接触絞り切替

•SmartAlignテクノロジー：ユーザー・ペアを必要としない

•低真空モード（オプション）におけるレンズ差動真空引きによるスカート効果の低減、正確な分析とZUI高解像度イメージングの実現

•電子ビーム減速機能、サンプルテーブルのバイアス範囲は-4000 Vから+600 V

•ビーム流の連続変化、開口角質の最適化

•ダブルサンプルテーブルの走査偏向

•電子銃の設置とメンテナンスが簡単：自動ベーキング、自動起動、機械的アライメント不要

•PivotBeamモード：選択された電子チャネルのライニングイメージングに使用され、「揺動電子ビーム」モードとも呼ばれる（Apreo Chemisem Sタイプのみ）

•ZUI短フィラメント寿命：36ヶ月

ChemiSEM技術

• TrueSight；プローブサイズ：25または70 mm²

•エネルギー分解能125 eV@MnΚα₁まで

•元素検出範囲はBe-Am

•軽量元素感度でシリコン（Si Lα）を検出できる

SEM-EDS機能は単一ユーザーインタフェースに統合されている

•プロジェクトベースのデータストレージ

•データ管理を容易にするプロジェクトデータツリー

•業界標準のデータフォーマット

•ポイント、線、面スキャンモード間のシームレスな融合を実現する専用分析モード

•xT SEMユーザーインタフェースで使用可能な電子画像タイプを選択する

•ワンタッチでレポートを生成する

•和ピークと脱出ピークの除去

•自動ピーク認識

•ピークとバックグラウンドを重ね合わせる

•広範囲の動作距離、ビームフロー、電子ビームエネルギーの範囲内で正確な定量を行う

•ユーザーは、要素が含まれているか、除外されているか、定量的に欠落しているかを選択することを定義できます

•定量分析のためのKLM線系の自動またはユーザー定義選択

•デジタルフィルタリングによるバックグラウンドの除去

•ZUI小二乗フィルタリングフィッティングによる無標本定量分析

•PROZA基体補正法を用いて、優れた軽元素定量を実現する

•定性的かつ定量的な線走査を行い、時間的に長いかカウント的にテストを停止することができる

•ChemiSEM技術、電子画像アルゴリズムを結合して高速面定量を実現する

•定量面スキャンは常にオンで、スペクトルピークのはく離の定量面スキャンを提供する

•計数面スキャン、単要素線系選択をサポート

• square kernelizationによる定量面走査（オプション）

•複数の面スキャン画像を電子画像に重ね合わせる

•ユーザーが要素の色をカスタマイズまたは自動選択する

•ナビゲーションによるモンタージュの収集と分割

•MAPSソフトウェアと互換性があり、多視野の自動連結を実現する

•点と矩形枠を使用したスペクトル抽出

•線方向、幅、点数を柔軟に選択することにより、X線面スキャン画像から線スキャンデータを抽出する

•マルチスペクトル正規化比較

•DCFIによる面走査のドリフト補正

•化学量論法を用いたホウ化物、炭化物、酸化物及び窒化物の化合物分析

•ChemiPhase多元統計解析法によるリアルタイムまたはオフライン位相同定

•ChemiViewによる異なるデータ型のオフライン再処理とレポート生成

TruePix EBSD検出器

•ハイブリッドピクセル化直接電子EBSD検出器

•Timepixベースの単一モジュールからなる単一検出器

•ゼロ読取ノイズ、高信号バックグラウンド比

•ゼロひずみ

•単粒子数

•エネルギー閾値化

•2000 FPSフレーム読み出し率

•検出器の挿入、キャリブレーション、パターン最適化、面スキャンの自動設定を1分で完了

EBSD収集・データ処理ソフトウェア

•オンライン収集とオフラインデータ処理システムの包括的な統合

•自動パターン最適化：システムは採集対象領域からランダムポイントで採集する>20個のEBSP、良質なバックグラウンド校正を実現する

•ZUI大露光量測定：システムは信号飽和前のZUI大露光量を決定し、露光時間がZUI大露光量を超えた場合、自動フレーム積分を行う

•自動平坦場補正とライニング強化（キャリブレーションプログラムを別途提供）

•異なる検出器の位置、動作距離、サンプルの傾斜角度に対して花様中心の自動校正を行う

•任意の種類の画像を重ね合わせることができる

•結晶粒径ヒストグラム

•ノイズ除去とピクセル拡張

•ユーザー定義テンプレート化レポート

•すべての7種類の結晶系と11種類のラウエ群を標定する

•多相同時定格

•高速フーリエ変換とパターンライニングの品質指標

•低SEM倍率フィギュア中心補正

•EBSPの優れた適合キネマティックシミュレーションとオーバーレイ

•欧拉図、X/Y/Z逆極性図（圧延、垂直、横方向）、欧拉配向図、相図と配向差面走査

しんくうシステム

•油抜き真空システム

•1×240 l/sターボ分子ポンプ

•1×PVPスクロールポンプ

• 2×IGP

•試料タンク真空度（高真空）<6.3×10-6 mbar（ポンプ動作12時間後）

•真空引き時間：≤3.5分

•低真空モード（チャンバ圧力10-500 Pa）（オプション）

•電圧制限絞り（PLA）自動ローディング装置

サンプルテーブル

•標準多機能サンプルホルダー、直接サンプル台に取り付けることができ、最大18個の標準サンプルホルダー（直径12 mm）、3個の予備傾斜サンプルホルダー、断面サンプルホルダーと2個の予備傾斜STEMサンプルホルダー（オプション）（38°と90°）を収容することができる、サンプルの取り付けに工具は必要ありません

•オプションのSTEMキャリアごとに6つのSTEMキャリアを収容可能

•ウェハ及びカスタムサンプルテーブル（オプション）

ビーム分解能

BD：電子ビーム減速モード、WD：動作距離（特に説明がない限り、品質の良い動作距離で分解能を提供する）。デフォルトでは、ZUI最終設置後のシステム検収試験条件は：高真空1 kVと30 kV条件であり、浸漬モードをオンにする（適用する場合）。

ビームパラメータレンジ

電子ビームパラメータ範囲：1 pAから50 nA（オプションで400 nA）

•加速電圧範囲：200 V-30 kV

•着陸エネルギー範囲：20 eV-30 keV

•ZUI大水平視野幅：10 mm WDで3 mm（ZUI小拡大倍率：29 x）

サンプルボックス

•内幅：340 mm

•分析作業距離：10 mm

•ポート：12

酸化マグネシウム粒子を電子ビーム減速（BD）により低kV特性化（500 V）した。BDは形態の詳細を改善し、荷電効果を低減することができる。

プローブ

Apreo ChemiSEMは、異なる検出器または検出器のパーティション（オプション）を任意に組み合わせ、最大4つの信号を同時に検出することができます。

•Trinityプローブシステム（対物レンズ内と鏡筒内）

-T 1分割対物レンズ内低位検出器

-T 2対物レンズ内中位検出器

-T 3鏡筒内高位検出器（オプション）

• TD：Everhart-Thornley二次電子検出器

•DBS：伸縮性パーティション式ポールブーツ下後方散乱電子検出器（オプション）

•低真空二次電子検出器（オプション）

•DBS-GAD：対物レンズに取り付けられた雰囲気解析後方散乱電子検出器（オプション）

•STEM 3+伸縮性パーティション検出器（BF、DF、HADF、HAADF）（オプション）

• 赤外線CCD

• hermo Scientifc™ Nav-Cam™ ナビゲーションカメラ（サンプルビン内）