サイマー飛EscaLabXi+X線光電子分光器

サイマー飛EscaLabXi+X線光電子分光器特徴：

高感度スペクトル

小面積XPS

深さ解析能力

角度分解XPS

標準イオン散乱エネルギースペクトル（ISS）機能

標準配置反射電子エネルギー損失スペクトル（REELS）機能

「サンプル前処理」チャンバを標準装備

多技術分析の多機能性

複数のサンプル製造技術を選択可能

全自動無人式解析

マルチサンプル分析

単色化X線源

双結晶マイクロ集束モノクロメータは500 mm直径のローランド円を備え、アルミニウム陽極ターゲットを使用している

サンプルX線スポットサイズは200 ~ 900μmの範囲で選択可能

レンズ、アナライザ、検出器

レンズ、分析器及び検出器からなるXPS検出システム+XPS分光計のイメージング及びマイクロ領域における分析能力は、いずれも単一の

2つのタイプの検出器により、画像化用の2次元検出器と高計数率検出用の電子増倍器の各解析に最適な検出を確実に提供することができます。

レンズには、高品質の角度分解データを得るためにレンズの視野を＜20μm以下に制御するマイクロゾーン解析を可能にする2つのコンピュータ制御虹彩機構が搭載されている。

180°半球型エネルギー解析器

深さ解析

数値制御式EX 06イオン銃は高性能なイオン源であり、低エネルギーイオン源を使用する際にも優れた性能を持っている

方位角サンプル回転を提供する

たじゅうぎじゅつりょく

XPS検出性能を低下させることなく他の解析技術を搭載可能

EX 06イオン銃を使用した場合のレンズ群とエネルギー分析器の電源を逆方向にすることができる（イオン散乱エネルギースペクトル（ISS）が利用可能であることを確保する）

電子銃は1000 Vまで加圧でき、REELSに優れたイオン源を提供する

技術オプション

非単色化X線光源のXPS解析

AES（Auger電子分光法）

UPS（紫外光電子分光法）

サイマー飛EscaLabXi+X線光電子分光器しんくうシステム

5 mm厚高導磁？金属分析室、磁気遮蔽効率を高める

遮蔽効果は、内部または外部遮蔽を使用する方法に比べて優れている

サンプル調製

システム標準配置が一体化された高速注入室と調製室

追加の調製室オプション

Avantageデータシステム

機器制御、データ収集、データ処理、レポート生成など、テスト分析のすべての側面を統合

リモート制御を可能にし、サードパーティ製ソフトウェア（Microsoft Wordなど）との容易な対話を可能にする

サンプルロードからレポートエクスポートまでの分析プロセス全体の管理