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上海市松江区高技路655号4棟413-415
上海茂碩機械設備有限公司
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スイスVATバルブの見積書速納期速真空バルブの価格が良い
--、スイスVAT社紹介
VATグループは1965年に設立され、スイスに本社を置き、世界で約1200人の従業員を抱えている。VATは国際的な真空バルブ、マルチバルブモジュール、ベローズを半田付けしているメーカー、VAT
絶え間ない革新と品質と信頼性への専門的な集中に基づいて、真空弁の分野で世界的な地位を確立した。VATは1000種類以上の標準製品を提供し、顧客に提供することができる
広範な業務範囲。
-二、スイスVATの一部品紹介
1.VATゲートバルブ
モジュラー式アクチュエータの概念を持つVATコンパクトミニ超高圧ゲートバルブは、工業的、研究開発的な応用に適している。通常、半導体プロセスシステムの配管に使用されています。バージョンの挿入
真空システム(弁体なし)、より高いシール材料(Chemraz、EPDMなど)、VITON製シール、交換可能、特殊なバルブゲート、適合
各種のオリフィスプレートを合わせて取り付けます。
2.VATバタフライバルブ
VATバタフライバルブは、下流で使用されるバタフライ圧力制御バルブである。非常に高速で堅牢なアクチュエータ、高性能、統合コントローラを備え、制御応答時間と位置指定が極めて短い
図、自動メンテナンス指示、優れた汚染防止能力。バルブのコントローラは、非常に迅速で正確な圧力制御を保証します。LEARN機能を操作することで、起動時にのみ
システムパラメータを自動的に決定するには、1回実行する必要があります。適応アルゴリズムを採用しているため、コントローラはプロセス条件(ガス種、ガス流量)に連続的に適応することができ、
常に最適な圧力制御を行うことを確認します。
3.VAT切換弁
VATスイッチングバルブは、200.300および450 mm結晶パークの半導体生産システムにおける負荷ロックおよび処理チャンバ分離のために使用される。二重作用エアアクチュエータ、本体材質はアルミニウム、さびない
4.VAT角弁
VAT角弁はほとんどの腐食性ガスに適しており、ガス除去率は極めて低い。排気速度が極めて低い場合、超高圧系のポンプ及び排気に重要である。耐圧差、固定式可
穴、閉じたスプリングNC付き)。
5.VATソフトスタートバルブ
VATソフトスタートバルブは、2つの共通軸に支持され、バネによって開位置に保持される2つのスロットル弁弁弁からなる。軸はISO−KF対中環に保持され、この対中環
バルブシート付きボディに形成されている。これらを2つのISO-KFフランジ(センタリングリングではなく)の間に取り付ける場合は、開いたバルブ弁を真空管路の気流に合わせなければなりません。粗削りにする
工系が運転を開始すると、粗加工ラインに「強=流が発生し、この気流は直ちにバルブを閉じ、パイプセグメントを約99%減少させる。約2%の差圧に達すると、
15 mbarでバルブが開き、さらにポンプを行うために配管から離れます。


VAT真空バルブはクリーンルーム条件下で製造され、それぞれの用途に合わせてカスタマイズされている。高純度に加えて、VAT真空バルブはその高精度な機能と耐久性のため、運転条件でも
表現がよい。
全面的な真空隔離弁と制御弁、ガス定量弁、伝送弁と排気弁、水没弁及び急速閉鎖弁の製品組み合わせを通じて、VATはすべての応用分野に最適な解決策を提供した。
技術は肝心な点であり、最適な真空隔離あるいは制御機能を保証するために、VAT真空弁はVAT開発の異なる真空弁技術を採用した。これらの技術は粒子状物質を防止する機能を確保するほか、
大量のシャットダウンと制御サイクルで正確に動作します。
VAT真空ゲートバルブ、広く応用されている真空角バルブ及びバタフライ真空バルブ、振り子真空バルブ又は全金属真空バルブはそのため、すべての分野の真空バルブソリューションに標準を設定した。
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