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上海市松江区高技路655号4棟413-415
上海茂碩機械設備有限公司
上海市松江区高技路655号4棟413-415
中国におけるスイスVAT真空シャッタバルブの共同供給業者
VATは真空バルブ分野で絶対的な位置にあるスイスの会社で、VATは1964年の設立以来、真空バルブ技術分野で専門化された運営を実現してきた。その*の研究開発革新と業界で有名な高品質のため、世界の各半導体チップデバイス、太陽光デバイス製造メーカー、大学、科学研究機関はVAT社の製品を大量に採用し、その生産したバルブは真空発生と研究システムの中で業界の標準的なコンポーネントである。
VATバルブは主に半導体加工、ガラスまたはめっき装置、高エネルギー物理(科学研究)、シンクロトロン(科学研究)、レーザー技術、空間シミュレーション、冶金、表面分析などの業界で使用されている。製品は:プラグバルブ、バタフライバルブ、転送バルブ、ダイヤフラムバルブ、アングルバルブなどを含み、高感度と高信頼性の制御真空バルブである。
製品サービス:
スイスVATバルブ、ゲートバルブ、振り子バルブ、制御バルブ、アングルバルブ、ダイヤフラムバルブ、接続部品、マルチバルブモジュール、ヒータ、メッキ
ブランド紹介:
VAT真空バルブ社は市場で活躍するスイスの会社で、真空バルブの開発、製造、販売を行っている会社です。
主なモデル:
010シリーズ、012シリーズ、081シリーズ、091シリーズ、108シリーズ、110シリーズ、121シリーズ、140シリーズ、150シリーズ、152シリーズ、162シリーズ、168シリーズ、640シリーズ、641シリーズ、650シリーズ、652シリーズ、022シリーズ、032シリーズ、043シリーズ、075シリーズ、076シリーズ、066シリーズ、211シリーズ、214シリーズ、216シリーズ、245シリーズ、264シリーズ、471シリーズ、773シリーズ、790シリーズ、790シリーズ

瑞上VATの一部製品紹介
1.VATゲートバルブ
モジュラー式アクチュエータの概念を持つVATコンパクトミニ超高圧ゲートバルブはI業と研究開発応用に最適である。通常、半導体プロセスシステムの配管に使用されています。バージョンの挿入
真空システム(弁体なし)、より高いシール材料(Chemraz、EPDMなど)、VITON製シール、交換可能、特殊なバルブゲート、適合
各種のオリフィスプレートを合わせて取り付けます。
VATバタフライバルブは、下流で使用されるバタフライ圧力制御バルブである。非常に高速で堅牢なアクチュエータ、高性能、統合コントローラを搭載し、制御応答時間と位置指定Iが極めて短い
図、自動メンテナンス指示、優れた汚染防止能力。このバルブ」のコントローラにより、非常に迅速で正確な圧力制御が保証されます。L EARN機能を操作することで、起動時にのみ
システムパラメータを自動的に決定するには、1回実行する必要があります。適応アルゴリズムを採用しているため、コントローラはプロセス条件(ガス種、ガス流量)に連続的に適応することができ、
常に最適な圧力制御を行うことを確認します。
B.VAT切換弁
二重作用エアアクチュエータ、本体材質はアルミニウム、さびない
鋼、コルゲート管は保護され、使用寿命は長く、500万サイクルの予想寿命より大きく、公称内径32 x 222から56 x 496 mmである。
4.VAT角弁
VAT角弁はほとんどの腐食性ガスに適しており、ガス除去率は極めて低い。排気速度が極めて低い場合、超高圧系のポンプ及び排気に重要である。耐圧差、固定式可
CFフランジを回転させ、最高温度80°Cで300万回のサイクルを行うことができ、本体材質はステンレス鋼、アクチュエータタイプは手動アクチュエータ(ハンドホイール)、エアアクチュエータ(単閉
穴、閉じたスプリングNC付き)。
5.VATソフトスタートバルブ
軸はISO KF対中環に保持され、この対中環
バルブシート付きボディに形成されている。これらを2つのSO-KFフランジ(センタリングリングの間ではなく、開いたバルブを真空管路の気流に合わせなければなりません。粗加
工学系の運転開始時には、荒削りラインに強い気流が発生し、この気流はすぐにバルブを閉じ、パイプセグメントを約99%削減します。約2%の差圧に達すると、
15 mbarでは、バルブ]が開き、上述のポンプを行うために、ほぼ5つの障害物なく配管から離れます。
中国におけるスイスVAT真空シャッタバルブの共同供給業者