スイスVAT-09.1-保護リング付き高真空ゲートバルブ

交渉可能更新05/26

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

スイスVAT-09.1-保護リング付き高真空ゲートバルブ$r$n 09.1保護リング付き高真空ゲートバルブは、様々なプロセス条件下での厳しい応用に実装されており、次ウェハ工場の応用分野での信頼性を証明している。あらゆるアプリケーションに容易に統合できます。

製品詳細

スイスVAT-09.1-保護リング付き高真空ゲートバルブ

気流中の副産品の割合が高いと、堆積物ができてバルブの故障や計画外のメンテナンス作業につながる可能性があります。09.1保護リング付き高真空ゲートバルブはこの問題を回避することができる。弁座に大量の堆積物があっても、この高真空ゲート弁は安定して開閉できるように、自己洗浄機能を備えた特殊なくさび形設計と保護輪のおかげである。バルブプレートのくさび形設計のため、堆積物は常に信頼性の高いシール性を保証するためにバルブシートまたはゲートシールから特別に押し出されます。09.1高真空ゲートバルブは、1 barの差圧で正常に動作する。

09.1保護リング付き高真空ゲートバルブはすでに各種プロセス条件下の厳しい応用に取り付けられており、次ウェハ工場の応用分野での信頼性を証明している。あらゆるアプリケーションに容易に統合できます。

09.1保護リング付き高真空ゲートバルブは空気圧タイプである。制御弁の標準電圧は24 VDCである。標準シール材はフッ素ゴムであるが、必要に応じて他の材料を使用することができる。また、ソフトドロー機能を統合し、測定機器などに追加のアクセスポイントを追加することもできます。

表示することもできます
09.1ウェッジ設計を採用した高真空ゲートバルブ
09.2 HVウェッジ設計の高真空プラグバルブ

特徴：

保護リングは堆積物の蓄積を防止することができる
バルブは圧力差が1 barに達した時に開くことができる

利点：

極めて劣悪な条件下で優れた信頼性を持つ
メンテナンスサイクルの延長
低ランニングコスト

技術パラメータ：

サイズ		DN 100mm（4'）
ドライブ	くうきあつ	ふくどうさ
バルブボディ材料		ステンンレス鋼
フィードスルー		ベローズ
ひょうじゅんフランジ		ISO-F
ろうえいりつ	バルブボディ	< 1 × 10-9mbar LS の-1
	バルブ座	< 1 × 10-7mbar LS の-1
あつりょくはんい		1 × 10-8
バルブプレートは差圧に耐えることができる		≦1.2バール
開放時に差圧に耐えることができる		≦1バール
メンテナンス前のスイッチ回数
温度	バルブボディ	≤150°C
	ドライブ	≤100°C
	電磁弁	≤50°C
	位置指示器	≤70°C
材料	バルブボディ、バルブプレート	AISI 304（1.4301）
	ベローズ	アッシー633（AM 350）
密封（みっぷう）	バルブカバー、バルブプレート	オプション：パーフルオロエーテルゴム
インストール場所		任意の場所
電磁弁		24 V DC、1 W
位置指示器：接点定格	電圧	24 V AC/DC
	電流	≤0.5 A
	電力	最大10 W
じゅうりょう		20 kg/44.1ポンド

スイスVAT-09.1-保護リング付き高真空ゲートバルブ

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