スイスVAT真空ゲートバルブ国内現物供給-VATバルブ販売業者

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真空ゲートバルブ–一般的には、隔離または簡単な制御アプリケーションに最適です。設置深さは狭く、伝導性は最大（流れ抵抗は最小）であるが、ゲートのストローク空間が必要である。これらはまた、製品がこれらのバルブを介して真空プロセスチャンバに導入される真空スリットバルブ、真空トランスポートバルブ、または真空バルブの形態をとることもできる。

真空角弁-一般的な一般的な用途の真空弁。サイズは非常にコンパクトで、通常はシール、アクチュエータ、センサーの面で非常にモジュール化されています。平均電気伝導率は、メンテナンスが非常に容易です。非常に良く、必要に応じて非常に正確な制御性があります。

真空バタフライバルブ-主に制御用途に使用されます。非常に狭い設置深さ、良好な伝導性、迅速かつ正確な制御性。

対称流真空調整弁–特別なタイプで、最初の開口からバルブ開口全体への非常に均一な流れ挙動を最適化します。

ガス計量弁またはガス漏れ弁–特に、低流量のプロセスガスなどの非常に細かい計量に対する計量。

圧力逃がし弁または排気弁–安全弁は、通常は換気を行い、規定の圧力条件を超えることを防止するために真空システムを制御することができます。

真空逆止弁-被動式、体積流量と差圧操作の弁。通常、逆流汚染から真空システムを保護するために使用されます。例えば、真空還流ポンプと真空システムとの間で使用される。

高速閉鎖弁–通常は大きな真空体積または真空チャンバを漏洩による真空損失から保護するアクティブ保護弁。主な特徴：検出された圧力低下に対して非常に速い閉鎖反応がある。UHVおよびXHV用途では、通常、非常に高い差圧でも密封隔離を確実にするために、扇形真空弁（通常は真空ゲート弁）によって支持される。

主な特徴：硬対硬（金属対金属）の密封、弾性密封ではなく、弾性密封はサービス条件に耐えられないため。

真空マルチバルブ装置–いくつかの真空バルブの機能を1つのユニットに結合する特殊なタイプの真空バルブ。主な特徴：部品の数量を減らし、組み立て速度が速い。通常はお客様の要件に合わせてカスタマイズされます。

3ビット真空バルブ-真空遮断バルブの特殊な形態で、閉じた位置と開いた位置に加えて、3番目のバルブ位置を定義することができます。例えば、高圧差時にバルブの開きが早すぎることによる圧力パルスを回避するための応用である。3番目の位置では、シールリング上の接触圧力は短時間でわずかに低下したが、バルブは明らかに開かれておらず、圧力変化をよりスムーズにした。

高性能真空バルブとは？

これらの用途における真空バルブは、以下の点で標準的な真空バルブと異なる：

最小化された粒子放出

高性能真空バルブは最適化されており、そのハウジング、機械装置、またはシールの材料を通じて粒子を放出することはなく、その開閉や制御運動の摩擦を通じて粒子を放出することもない。これは、使用する材料の特殊な選択と処理、およびいくつかの設計詳細によって実現され、これらの詳細は、場合によっては粒子の放出を最小限に抑えることができます。

最小化されたモーションパルス

各バルブは、その開閉運動によって運動パルスを発生する。バルブを自動的に駆動する場合、これらのパルスの範囲はわずかな振動から聞こえ、感知できるハードショックまで可能である。これらの運動パルスは、例えば追加の粒子放出により、敏感な製造プロセスに悪影響を与える可能性がある。乗客エレベーターの運転方法と同様に、閉鎖点に到着する少し前には、「衝突」を防ぐために、閉鎖速度が遅くなります。これらのモーションカーブは、通常、オフ時間とオフ周波数など、必要な条件に適合するように修正することができます。

中性化学と物理的挙動

真空バルブは、その形態にかかわらず、真空プロセスチャンバの均一性を常に変化させる。この場合の発生は、部分的にはその幾何学的形状の結果によるものである。流路の狭くなったり広くなったりすることで、流れ抵抗や流れの速度を変えたり、バルブプレートの移動空間などの死角を変えたりして、堆積プロセスを促進することができます。これも、フロー挙動およびプロセスガスの濃度、分布、混合、温度を変化させるオン/オフ運動によって発生します。高性能真空バルブは最適化され、その影響をできるだけ補償したり、制御可能にしたりしています。そのために、開閉や制御などバルブの基本的な機能をはるかに超えたさまざまな追加技術が設計に組み込まれています。

正確な繰り返し可能な動作＃サイショウノフクシヨウ＃（Repeat able behavior）＃＃＃＃＃（Repeat able）＃（Repeat able）＃（リピable able）（リピable ap＃）（リピ）（リピ）（リピ）（リピ）（リピ

高性能真空バルブと標準溶液の違いは、主にその高さで再現可能な挙動にある。これは、標準的なソリューションは個々の開閉運動ごとに変動を示し、使用中に定義された性能値の偏差を示しているが、高性能真空バルブは最適化されており、長時間の使用では常に同じ挙動を示し、非常に狭い範囲で定義されていることを意味している。これは、真空プロセスを安定させ、プロセス制御の複雑さをzuidiに下げることができることを意味しています。

真空バルブのタイプはどれらがありますか。

真空バルブは他のバルブと同様に、ゲートバルブ、バッフルディスク、回転ディスクなどの基本的な機械的原理を使用して真空領域を分離または隔離し、体積流量を制御します。しかし、これらの力学原理を使用する基本的な条件はwanquanとは異なる。例えば、自由度の高い粒子、非常に小さな体積流の正確な制御、密封、最小の振動、衝撃は極めて重要な特性である。したがって、これらの基本的な機械装置は通常、真空バルブのために異なるように設計されている。例えば、閉鎖機構は通常、摩擦なく閉鎖され、あれば最小の振動と衝撃を引き起こすように設計されている。

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