せいみつがたでんりゅうでんあつアナライザ

1.製品の概要：

B 1500 Aは機能*の半導体デバイスアナライザであり、基本的な手動測定から半自動ウェハ検出器と連動するウェハテストの自動化をサポートする。モジュール化された設計を採用し、さまざまなモジュールタイプをサポートし、変化するテストニーズを満たすことができます。Microsoftを採用しているため® Windows® XP専門版オペレーティングシステムは、さまざまなPCベースの作業環境に容易に統合でき、その熟知したWindowsグラフィックスユーザーインタフェース（GUI）と便利なオンラインヘルプメニューも機器のトレーニング需要を最小限に抑えることができる。

2.装置アプリ：

半導体デバイスの開発：半導体デバイスの開発過程において、ダイオード、トランジスタ、コンデンサなどのデバイスの電流を正確に測定する -技術者がデバイスの性能とパラメータを理解し、デバイス設計と製造プロセスを最適化するのに役立つ電圧特性。例えば、トランジスタの電流−電圧曲線を測定し分析することにより、その増幅倍数、オン抵抗などの重要なパラメータを評価し、トランジスタの性能改善に根拠を提供することができる。

ウェハ検出：ウェハに適用されるパラメータ測定と品質検出。ウエハ上の各種デバイス構造をきめ細かく電流化することができる -電圧分析、ウエハ上のデバイスの一致性と信頼性を検出し、ウエハ製造過程における欠陥と問題をタイムリーに発見することは、ウエハの歩留まりと品質を高めるために重要な意義がある。例えば、ウェハの製造ラインでは、B 1500 Aはウェハ上の各デバイスの電流電圧特性を迅速かつ正確に測定することができ、ウェハ上のデバイスが品質基準に合致することを確保することができる。

材料研究：新型半導体材料の研究において、材料の電気的性質の研究に用いることができる。異なる条件で材料の電流を測定することにより -電圧関係、材料の導電性、バンド構造などの特性を分析し、新材料の開発と応用にデータサポートを提供する。例えば、いくつかの新型の広帯域禁止半導体材料について、B 1500 Aは研究者がその電気特性を深く理解し、高温、高周波などの特殊な環境下での応用潜在力を評価するのに役立つことができる。

3.設備の特徴

広い測定範囲：広い電流と電圧測定範囲を持ち、異なるタイプと規模の半導体装置の測定需要に適応できる。低電流、高抵抗の素子であれ、高電流、低抵抗の素子であれ、その測定範囲内で正確な測定を行うことができる。例えば、微小電流の測定については、B 1500 Aはナノアンペアまたはピコアンペアレベルの電流を検出することができ、高電圧の測定に対しても、千ボルトレベルの電圧測定要求を満たすことができる。

*の信号源機能：高性能の信号源を内蔵し、安定、正確な電圧と電流励起信号を提供し、被測定デバイスを駆動することができる。信号源は多種の出力モードとパラメータ設定機能を有し、各種の実際の動作条件下の信号入力をシミュレーションすることができ、ユーザーがデバイスの性能を全面的に評価するのを助ける。例えば、異なる動作周波数における異なるデバイスのテスト要件を満たすために、異なる周波数、振幅、波形の信号を出力することができる。

低雑音測定環境：先進的な雑音抑制技術と遮蔽設計を採用し、測定環境中の雑音干渉を効果的に低減し、測定の信号対雑音比を高めることができる。これは微弱信号と低雑音デバイスの測定に非常に重要であり、測定結果の正確性と信頼性を確保することができる。例えば、低ノイズ増幅器等のノイズに敏感なデバイスを測定する場合、B 1500 Aは静かな測定環境を提供することができ、測定結果がデバイスの性能をよりリアルに反映することができる。

ユーザーフレンドリーな操作インタフェース：直感的でわかりやすいユーザー操作インタフェースを装備し、操作者がパラメータ設定、測定操作、結果表示を容易に行うことができるようにした。複雑なテストデバイスに慣れていないユーザーでも、簡単なトレーニングを通じて迅速に使用でき、操作の難易度と学習コストが削減され、作業効率が向上します。また、インタフェースには豊富なヒント情報とオンラインヘルプ機能が用意されており、ユーザーが使用中に必要な情報やガイダンスをいつでも入手できるようになっています。