6/8インチ全自動槽式洗浄機

1. 製品の概要：

GAMAシリーズ6/8インチ全自動槽式洗浄機すべての湿式プロセスの需要を満たし、RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etchなどの応用をカバーし、典型的な0.35 um、0.18 umプロセスノードに使用でき、90 nmプロセスノードをサポートでき、6寸と8寸ウエハに互換性がある。

2. 装置アプリ：

ウェハサイズ

6、8インチ

適用材料

シリコン、炭化ケイ素、シリコン窒化ガリウム

適用プロセス

予備洗浄、脱ガム洗浄、窒化ケイ素除去、金属除去（Co，Ti）、Recycle洗浄、研磨後洗浄、Epi前洗浄、Epi後洗浄

適用領域

集積回路、基板材料、化合物半導体、パワー半導体

3. 特徴的な利点：

北方華創 GAMA Series洗浄機は腐食均一性の面で現れている明らか腐食均一性はチップ製造の一貫性と安定性を保証するために重要な意義がある。
この洗浄機は、入念に設計された流体流動システム、化学溶液分布機構及び温度制御戦略を通じて、ウェハ表面全体で高度に均一な腐食効果を実現することを確保している。大面積のウェハでも複雑なパターン構造領域でも、腐食の程度の一致性を保つことができる。
化学溶液がウエハ表面を均一に覆い、局所的な腐食が過度に発生したり、不足したりすることを避けるために、マルチヘッドの均一なスプレー、回転式洗浄などの技術を採用している可能性がある。同時に、正確な温度制御システムは、温度の違いが腐食反応の速度と均一性に影響を与える可能性があるため、洗浄過程全体の温度の均一性を確保することができる。実際の用途では、異なる材質と厚さのウエハに直面しても、この洗浄機は優れた腐食均一性を提供し、チップの品質と性能を効果的に向上させることができる。

4.設備の特徴

構造設計がコンパクトで、敷地面積が小さい

モジュラー設計、柔軟な構成、拡張性

成熟したプロセススロット設計、プロセス安定性の確保

精密な化学秤量システム、高品質プロセスを実現する