プラズマ増強化学蒸着（PECVD）システム

1.柔軟な堆積能力

·シリコンベースの堆積プロセス-酸化物、窒化物、酸窒化物、アモルファスシリコン（a-Si）、炭化ケイ素（SiC）

·研究と開発

·プロトタイプ作成

·小ロット生産-フォトニクス、ソリッドステート照明、MEMSおよびナノテクノロジー

·応用分野：層間絶縁層、パッシベーション層、封止層、マスク層、反射防止層

2.パフォーマンスの価値

1.大型手動積載ステージ（406mm）

2.優れたクリーン度

3.高さきんいつせい

4.高スループット

5.信頼性の高いソフトウェア

6.コンパクトな敷地面積

7.コスト効果

8.メンテナンスが容易

9.業界トップコンポーネントの採用

3.検証済みソリューション

・続いたPTI 790/790+についての設計理念

o手動ロード、ロードロック不要（ロットまたはモノリシックウエハ対応）

oインストール済み400スリーブシステム

oシンプルな技術、堅牢な構造 価格は競争力があり、品質は信頼できる

コンパクトな敷地面積で省スペース