静電容量式変位センサプローブ

容量センサーとは？

容量センサは2つの平行板の間の線形変位を測定することによって動作する装置であり、1つの板はセンサ自体であり、もう1つの板はセンサが測定した物体である目標物である。

典型的な容量センシングシステム

-コンデンサプローブ、「センサプローブ」とも呼ばれ、ターゲット物体を検出するためのコンデンサセンサを内蔵した金属またはセラミックハウジングである。
・センサの駆動電子部品を含み、センサのアナログ出力信号を提供する測定モジュール、「測定回路基板」とも呼ばれる。
・測定回路基板から出力されるアナログ信号は、通常、クライアントコンピュータ内のA／D（AD）変換カードに接続される。

センサ構造

シールドリング（保護電極）がなければ、電界線がセンサの外に伸び、他の接地面や電界と相互作用する可能性があります。シールドリングの電界をセンサと同相に駆動することにより、センサは所望の目標としか電界を形成できない。

アクティブコンデンサとパッシブコンデンサセンサ

-受動センサーはほとんどの用途に適しています。そのプローブ内部には駆動電子部品が含まれていないため、優れた安定性と線形性を持っている。

-アクティブセンサはプローブ内に特殊な駆動回路を含み、高解像度と高測定帯域幅を必要とする「高ダイナミック」応用のために設計されている。

じゅどうがたキャパシタンスプローブ

アクティブコンデンサプローブ

カスタムプローブ

プローブはさまざまな方法でカスタマイズできます
-顧客のニーズに合わせてプローブのサイズまたは形状をカスタマイズ
-斜面カット付きプローブ先端
-クランプ式ではなくスルーホール式で取り付けられたプローブ
-高安定性オプション-4810型高安定性測定器オプションと組み合わせて使用可能

とくしゅようプローブ

-セラミックプローブは安定性の高い用途に適している
−熱安定性を高めるために、受動式プローブ設計においてインバ合金（Invar）を使用することができる
-ウエハ接地不良の適用シーンに対して、「補正」可能なプローブオプションを提供