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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
PC 300圧力制御器は完全な流量計機能を持つ圧力制御器であり、主に半導体分野、例えばウエハ裏面冷却システムにおいて、ヘリウムガス、窒素ガス、アルゴンガスなどの特殊ガスなどのシリコンウエハ裏面の冷却ガスの圧力を制御するために用いられる。
製品詳細
革新的なポイント
製品のフルデジタル化
製品はマイクロプロセッサを採用し、高知能化、高信頼性、メンテナンスが便利な利点を持っている。
にじゅうせいぎょぎじゅつ
製品は二重制御技術を採用し、高応答、高精度の性能指標を実現することができる。
応用分野
半導体-集積回路
半導体-パッケージ
半導体ディスプレイ
はんどうたいしょうめい
半導体-マイコン電気システム
パワー半導体
化合物半導体
技術指標
| モデル | PC300 |
| フルレンジ流量 | （10 20 50 100 200 500 5000）SCCM |
| フルレンジ圧力 | （1020，50，100）トー |
| せいぎょモード | ダウンストリーム |
| 圧力制御精度 | ±0.2%のF.S。 |
| 繰り返しの制御 | ±0.2%のF.S。 |
| レスポンス時間 | <1.0秒 |
| 動作温度範囲 | 10℃から50℃ |
| バルブタイプ | 通常閉鎖 |
| ろうえいりつ | 1x10以下-12（SCC/SEC He） |
