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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
PC 200圧力制御器は、ガスの圧力を精密に制御し、測定するために使用される。主に半導体集積回路プロセス、特殊材料、化学工業、石油工業、医薬、環境保護と真空などの分野に応用されている。
製品詳細
革新的なポイント
デュアル電源の広範囲な電力供給をサポート
±15 VDCを使用して電力を供給し、デュアル電源は広い範囲で電力を供給し、電流は小さく、消費電力は低い。
アナログ電圧の4つの組み合わせ形式
アナログ電圧入力と出力には4つの組み合わせ形式があり、選択できます。
上下流制御圧
上下流とも制御圧を実現でき、通路の流れを転換することにより、ソフトウェアは上下流の制御パラメータを変更し、制御圧モードを切り替えることができる。
応用分野
半導体-集積回路
半導体-表示
生命科学-分析機器
科学研究-実験器材
技術指標
| モデル | PC200 |
| 圧力タイプ | 絶圧、表圧 |
| 制御圧力のフルレンジ | 絶圧：1000 Torr、2000 Torr、300 Kpa、3000 mbar表圧：500 Kpa |
| たいあつ | 3MPa |
| バルブポートフルレンジ流量 | 200sccm;1、2、4、5、10、15、50SLM |
| せいぎょモード | 上流、下流 |
| 温度係数 | ゼロ: F.s./℃の±0.02%;スパン: ±0.04%の読み込み/℃ |
| 圧力分解能 | 0.1 Torr |
| 圧力制御精度 | ±0.5%のF.S。 |
| レスポンス時間 | <1.0 S |
| 動作温度範囲 | 5℃~50℃ |
| 機械インタフェース | VCR 1/4'雄継手、VCR 3/8'雄継手 |
| バルブタイプ | 常閉、常開 |
| がいぶもれ | 5x10以下-12（Pa.m）3（s He） |
| ないぶもれ | ＜1.0%ofポートフルレンジ流量（バルブ閉弁時、吸気端は25 psig、排気端は大気） |
| 電源供給 | +15～+24 VDC（単段）、±15 VDC（双極、DB-9ピンインタフェースのみ対応） |
| 電気インタフェース | DeviceNetコネクタ、DB-9ピン、EtherCATコネクタ |
注意：
ガス圧力制御装置の出荷には通常窒素（N2)を指定します。
ガス圧力の単位は、Torr（Torr）、mbar（ミリバール）、KPa（KPa）、
標準状態は：温度--273.15 K（0℃）、気圧：101325 Pa（760 mm Hg）
華丞電子PC製品では、単位SCCMは「mL/min、0°c、1 atm」と同等であり、単位SLMは「L/min、0℃、1 atm」と同等である。
F.S.（フルスケール）：フルレンジ値、S.P.（Set Point）：設定点値
