PC 100圧力制御装置

ネゴシエーション可能更新01/07

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概要

PC 100圧力制御器はデジタル型圧力制御製品であり、ガス圧力の制御、測定に高精度と高信頼性を提供している。デジタル信号と0 ~ 5 Vアナログ信号を同時にサポートし、単電源で電力を供給することができる。また、標準的でオープンな通信プロトコルは、お客様自身が制御、収集ソフトウェアを開発するのに便利です。

製品詳細

革新的なポイント

PTSに基づく圧力センシング技術

一方、圧力、温度二重パラメトリック最適化により、圧力-温度データテンプレート計算補償係数テーブルを構築して温度補償を行う、一方、センサの取り付け位置を改善し、検出キャビティの体積を縮小する方法により、センサ信号の測定をより正確で正確な制御圧力にする。

AIに基づく圧力制御技術

圧力変動データモデルを構築することにより、固定流量圧力変動、固定圧力流量変動などのモードを迅速に識別する。異なるモードに基づいて弁電圧を事前に増加または減少させる方式で圧力PID調整を行い、この戦略は応答速度が速く、制御が安定している特徴がある。

ぜんきんぞくたいふしょくぎじゅつ

埋め込み式ライニングフッ素比例調圧弁技術を採用した。バルブシール構造は主に316 Lステンレス鋼とテトラフルオロ材料（PTFE）を用いた。PTFE材料は製品の使用寿命を向上させることができ、様々なタイプの腐食性ガスに適しているが、同時に密封性は金属密封より優れている。

応用分野

半導体-表示

半導体-集積回路

半導体-照明

クリーンエネルギー-光起電力

技術指標

モデル	PC100
圧力タイプ	ぜつえんあつ
制御圧力のフルレンジ	1000Torr、1200mbar
たいあつ	3MPa
バルブポートフルレンジ流量	50、500sccm;1、2、3、5SLM
せいぎょモード	上流
温度係数	ゼロ: F.s./℃の±0.02%;スパン: ±0.04%の読み込み/℃
圧力分解能	0.1 Torr
圧力制御精度	読み込みの±1.0%（≥10%FS）;F.S.（<10%FS）の±0.2%
レスポンス時間	<1.0 S
動作温度範囲	10℃~50℃
機械インタフェース	ダブルブッシュ1/4′、VCR 1/4″雄継手
バルブタイプ	常閉
がいぶもれ	1x10以下^-10（scc/sec He）
ないぶもれ	＜1.0%ofポートフルレンジ流量（バルブ閉弁時、吸気端は25 psig、排気端は大気）
電源供給	+15 ~ +24 VDC（<4 ワット）
電気インタフェース	DB-9ピン、EtherCATコネクタ

注意：

ガス圧力制御装置の出荷には通常窒素（N₂)を指定します。

ガス圧力の単位は、Torr（Torr）、mbar（ミリバール）

標準状態は：温度--273.15 K（0℃）、気圧：101325 Pa（760 mm Hg）

華丞電子PC製品では、単位SCCMは「mL/min、0°c、1 atm」と同等であり、単位SLMは「L/min、0℃、1 atm」と同等である。

F.S.（フルスケール）：フルレンジ値、S.P.（Set Point）：設定点値

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