KLA iNanoナノインデンテーション計

KLAナノインデンテーション計製品紹介：

KLA iNanoナノインデンテーション計フィルム、コーティング、少量の材料を簡単に測定できます。この計器は正確で、柔軟で、しかもユーザーは友好的で、打痕、硬度、傷付けと汎用ナノスケール試験などの多種のナノスケール機械試験を提供することができる。この装置の力荷重と変位測定のダイナミックレンジは非常に大きいので、軟質ポリマーから金属材料までの繰り返し試験を実現することができる。モジュール化オプションは、材料特性分布、特定の周波数テスト、スクラッチと摩耗、高温テストなどのさまざまな用途に適しています。KLA iNanoナノインデンテーション計は、サンプル加熱、連続剛性測定、NanoBlitz 3 D/4 Dプロパティマッピング、リモートビデオオプションなど、一連のテスト拡張オプションを提供しています。

KLAナノインデンテーション計利点：

• モジュール化設計で、広範な試験機能を持つとともに、高スループットの自動化試験機能を提供することができ、統計データ分析パッケージを備え、ナノ力学性能測定、走査プローブ顕微イメージング、高温測定とIV電圧電流特性試験のリアルタイムの実験制御、簡単で使いやすい試験フロー開発と試験パラメータ設定に適している。

• 標準的なInForce 50電磁ドライバ。

• 集積高速コントローラ電子機器は100 kHzまでのデータ収集を完了し、鋸歯のレオロジーや破断現象などの材料の瞬間的な応答を捕捉する。計器は工業界の短時間定数20μsを使用し、材料の瞬間的な真の応答を迅速に捕捉する。

• 騒音隔離機能を集積した剛性フレームは、各種材料の正確な測定を確保することができる。

• デジタルズームの高分解能光学顕微鏡で、サンプルを詳細に位置決めします。

• ナノインデンテーションの専門家がオンラインで専門のナノインデンテーションコースを講義し、モバイルアプリケーションが試験方法のリアルタイム更新を提供することができる。

測定原理：

KLA iNanoナノインデンテーション計は特定の幾何形状のダイヤモンド圧子を用いて材料表面に荷重準静的に圧入し、リアルタイムで荷重-荷重解除過程における荷重と圧入深さの変化を記録し、荷重-変位曲線を生成し、曲線分析を通じて力学モデルを結合し、材料のナノ硬度と弾性率などのパラメータを計算する。

主な用途：

硬度と弾性率測定（Oliver-Pharr）

機械的キャラクタリゼーションは、自動車産業におけるコーティング品質、および半導体製造の前段と後段のプロセス制御を含むフィルムの加工と製造において極めて重要である。

KLA iNanoナノインデンテーション計は、超軟質ゲルからハードコート層までの様々な材料の硬度と弾性率を測定することができる。これらの特性の高速評価により、生産ラインでの品質管理が保証されます。

高速材料特性分布

複合材料を含む多くの材料では、その機械的性質は部位によって異なる可能性があります。KLA iNanoナノインデンテーション計のサンプルプラットフォームは、X軸とY軸上で100 mm移動し、Z軸方向に25 mm移動することができ、これにより、このシステムは異なるサンプル高さに適用され、大きなサンプル領域で測定することができる。オプションのNanoBlitz形態およびクロマトグラフィーイメージングソフトウェアは、測定された機械的属性のカラー分布図を迅速に描画することができます。

ISO 14577硬度試験

KLA iNanoナノインデンテーション計は、あらかじめ作成されたISO 14577試験方法を含み、ISO 14577規格に準拠した材料硬度を測定することができる。この試験方法はヤング率、計器硬度、ビッカース硬度と標準化圧痕に対して自動測定と報告を行った。

ポリマーTanDelta、貯蔵および損失係数

KLA iNanoナノインデンテーション計は粘弾性ポリマーを含む超軟質材料に対してtandelta及び貯蔵及び損失弾性率を測定することができる。貯蔵と損失係数及びtandeltaは粘弾性ポリマーの重要な特性であり、そのエネルギーは弾性エネルギーとして貯蔵され、そして熱消費として利用される。これらの2つの指標は、与えられた材料のエネルギー消費量を測定するために使用されます。

高温ナノインデンテーション試験

高温下のナノインデンテーションは熱応力下の材料性能の特性化に重要であり、特に熱機械プロセスにおける故障メカニズムを定量化する。機械的試験中にサンプル温度を変更することは、熱による挙動変化を測定するだけでなく、ナノスケールで試験しにくい材料遷移塑性を定量化することもできる。

業界アプリケーション：

技術上の利点：

• スクラッチ及び摩耗試験方法

• NanoBlitz 3 D高速力学性能分布

• NanoBlitz 4 D力学性能断層スキャン

• 連続剛性測定（CSM）

• ProbeDM高分子試験

• AccuFilフィルム法

• 300°Cサンプル加熱

• 国際標準化されたナノインデンテーション試験

KLA iNanoナノインデンテータのアップグレードオプション：

リモートビデオ視聴

リモートビデオオプションには、テストの前後にサンプルを表示するためにインストールされたWebカメラが含まれています。2つの観察角度分布はサンプル設置ビューとその場テストビューであり、それぞれサンプルとナノ圧子を観察することができる。

生体軟質材料試験オプション

生物材料試験方法コア技術を用いた連続剛性試験CSMによる1 kPa前後の弾性率を特徴づける生物軟質材料には平底圧子と軟質材料の貯蔵損失弾性率を測定する試験方法があり、

DataBurstテストオプション

DataBurstモードは100 kHzの速度でデータ収集をトリガし、鋸歯のレオロジーや破断現象などの材料の瞬間的な応答を捕捉する。ステップ荷重下で高歪率材料の力学的性能を測定することができる、お客様が材料の瞬間のリアルな応答を詳細に捉えるのを支援します。

InViewオープンソフトウェア作成プラットフォーム

InViewはオープンソフトウェアを使用してプラットフォームを作成し、テスト中のロード、測定、計算の制御を支援します。斬新なデザインや複雑な実験に使用されます。オープンソフトウェア作成プラットフォームはお客様に大きな柔軟性を与えます：お客様が簡単に元のテストデータを収集して最終的な分析結果を使用するのを支援します、お客様は計算式を閲覧し、編集し、パラメータをカスタマイズし、個性的な試験設計を実現することができます。ユーザーは自由に試験パラメータと試験過程を設計し、変更することができ、新しい試験試験を探索するために可能性を提供する。

TrueTestI-V電気テスト

TrueTestI-Vオプションを使用すると、ユーザーはサンプルに特定の電圧を印加し、ナノ機械的測定中の電気的特性の局所的な変化を特徴づけるために圧子の電流を測定することができます。

モジュラーラックを備えたアクティブ振動分離

KLA iNanoナノインデンテーション計の内蔵受動防振に加えて能動防振を増加させ、超薄膜などの高難度ナノ力学測定を実現するために良好な安定性と詳細度を提供した。能動防振システムは6つの自由度の振動をすべて減少させ、調整する必要はない。

圧子プローブと較正サンプル

InForce 50、InForce 1000、およびGeminiドライバの交換可能な圧子には、Berkovich、立体角、Vickers、および平底および球体圧子が含まれます。

測定図：