Filmetrics自動測定光学膜厚計

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

Filmetrics自動測定光学膜厚計はF 54-XYT-300のスペクトル反射システムを用いて、200 x 200 mmサンプルの膜厚を迅速かつ容易に測定することができる。電動XYテーブルは選択した測定点に自動的に移動し、高速な厚さ測定を提供し、速度は毎秒2点に達する。

製品詳細

Filmetrics自動測定光学膜厚計紹介：

Filmetrics F 54-XYT-300自動測定光学膜厚計は、F 54-XYT-300のスペクトル反射システムを用いて、200 x 200 mmサンプルの膜厚を迅速かつ容易に測定することができる。電動XYテーブルは選択した測定点に自動的に移動し、高速な厚さ測定を提供し、速度は毎秒2点に達する。

特長：

自動化フィルム厚さ描画システム、迅速な位置決め、リアルタイムで結果を得る、
測定可能サンプルフィルム層：基本的に滑らかである。非金属の薄膜はすべて測定することができます。
マッピング結果は2 Dまたは3 Dで表示でき、ユーザーが異なる角度から見ることができます。

測定原理：

入射光が異なる物質の界面を透過すると部分的に光が反射され、光の波動性により複数の界面からの反射光同士が干渉し、反射光の多波長スペクトルに振動が生じる現象がある。スペクトルの振動周波数から、異なる界面の距離を判断して材料の厚さを得ることができ（振動が多いほど大きな厚さを表す）、同時に屈折率や粗さなどの他の材料特性を得ることができる。

応用と膜層の例：

半導体膜層	ディスプレイ技術	コンシューマーエレクトロニクス	パリン
フォトレジスト	OLED	防水コーティング	電子機器/回路基板
誘電体層	ITOとTCOs	無線周波数識別	じきざいりょう
ガリウム砒素	エアボックスの厚さ	太陽電池	医療機器
マイコン電気システム	PVDとCVD	アルミニウム製シェル陽極膜	シリコーンゴム

一般的な産業用途：

半導体製造	LCD液晶ディスプレイ	こうがくてきめっき	MEMSマイコン電気システム
フォトレジスト	ポリイミド	ハードコート	フォトレジスト
酸化物/窒化物/SOI	ITO透明導電膜	反射防止コーティング	シリコン系膜層
ウェハ裏面研磨

製品仕様：

波長範囲：	190nm〜1700nm	光源：	ハロゲンタングステンランプ、重水素ランプ
nk厚さ測定に必要な1*：	50nm	測定精度2：	0.02nm
精度*：大きい方を取る	1 nmまたは0.2%	安定性3：	0.05nm
サンプルサイズ：	≦直径300 mm	速度（真空プラットフォームを含む）：	5点-8秒 25点～21秒 56点～43秒

フレアサイズ(Flare Size)	標準500ミクロン孔径	オプション250ミクロン開口	オプションの100ミクロン開口部
5 X対物レンズ	100μm	50μm	20μm
10 X対物レンズ	50μm	25μm	10μm
15 X対物レンズ	33μm	17μm	7μm
50 X対物レンズ	10μm	5μm	2μm

Filmetrics自動測定光学膜厚計測定図：

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