高圧質量流量制御器

一、高圧質量流量制御器設計の特徴

ねつしきのげんり
オールインワン設計
フルレンジスレーブ5SCCMへ1000SLPM
応答時間が超過しない 2 秒
操作圧力が20.7MPa
インストール場所に敏感ではありません
316ステンレス鋼材質、腐食性ガスの測定を許可する
直管セグメントの設置要件なし
シングルパワーサプライ

二、高圧質量流量制御器技術仕様
流量範囲：から0-5SCCMへ0-1000SLPM N 2、具体的には表1を参照してください
応答時間： 1 ～ 2 秒
精度：±1%フルレンジ（除204Aタイプ）
---------± 1± 1.5%.204Aタイプ）
再現性：±0.2%フルレンジ
レンジ比：50:1（2%-100%フルレンジ）
環境と動作温度： -10 ～ 70 ℃
大きな操作圧力：3000PSIG（20.7MPa）、具体的には資料を参考にしてください

ゼロドリフト：±0.05 %フルレンジ/℃
範囲ドリフト：±0.05 %よみとり/℃
压力漂移 ：0.1%/atm（相对于N 2）
設置方向：位置に敏感ではない
予熱時間： 10 分
20 針）またはD型（ 9 針）
設定点入力流量信号出力：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA

供給電源：
電圧出力：＋12(± 5 ％)（該当するのは0-5VDC和1-5VDC流量信号出力）または15(± 10 ％)VDC
電流出力：＋15(± 5 ％)または24(± 15 ％)VDC
消費電流：＜250mAdc
重量：表1参照

三、構造材料

316ステンレス鋼
センサーコンポーネント：316ポンド/秒
穴:316ステンレス鋼
バルブ構成部品（液受け）：
302秒，316ステンレス鋼，430フィート/秒，サントウィック？1802（除 202 、 221 、 222 和 251 型）、302秒，316ステンレス鋼，サントウィック？1802（ 202 、 221 、 222 和 251 タイプ）
シールマテリアル（”O」リングとバルブシート）：
ソースN，EPDM，Kalrez，クロロプレンゴム，Viton（除202A、203A和204A型）、ソースN，ディメンションパス（202A、203A和204Aタイプ）
プロシージャ接続：316ステンレス鋼

四、型式選択表