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Hammerマスフローコントローラ

交渉可能更新05/13
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プロデューサー
製品カテゴリー
原産地

概要

Hammer質量流量制御器の制御レンジは0-0.5 SCCMまで低く、層流差圧原理を採用し、温度、絶圧、質量流量と体積流量をローカルに表示でき、耐圧1 MPa、低圧差条件でも使用できる。130種類のガスを内蔵し、ユーザーコストを大幅に節約します。反応時間が速い。

製品詳細

一、Hammerマスフローコントローラシリーズ

MC標準シリーズ

制御応答が速く、安定した流量制御器。

MCRだいりゅうりょうけいれつ

大流量(50〜3000 slpm)ガスを正確に制御する。エリカーター®Rシリーズバルブは摩擦のないバルブであり、大流量のガス流量を精密に制御することができ、特殊な穴状モードは私たちがあなたの応用ニーズに合わせてバルブをカスタマイズすることができます。

MCW/MCRWていあつそんけいれつ

圧力損失がシステムに与える影響を大幅に低減し、フルレンジ圧力損失の低さはわずか4 mbar(0.06 psid)である、エリカーター®Whisper低圧損失シリーズ質量流量制御器は大気圧に接近する圧力を制御でき、航空宇宙、環境ガス分析などの応用の選択である、Whisperシリーズについてはこちらをクリックしてください

MCS/MCRS耐食性シリーズ

すべてのレンジで腐食性ガスに適した316 Lステンレス鋼構造を採用することができる。耐食性シリーズについてはこちらをクリックしてください

MCE/MCV半導体業界シリーズ

老朽化した熱式流量制御装置を迅速かつ簡単に置き換えることができ、ピン機能を任意にカスタマイズして制御システムと互換性を持たせることができ、閉鎖式バルブの設計はさらに半導体業界の基準に合致している。MCVシリーズはまた、真空用途に特化した後方の空気圧遮断弁を追加した。対応する腐食防止シリーズMCES/MCVSをカスタマイズすることができる。

MCD/MCRD双方向質量流量&圧力制御器シリーズ

*ガス流量は、順方向または逆方向に制御できます。低圧損シリーズMCDWシリーズ及び防食型MCDSシリーズをカスタマイズすることができる。双方向質量流量&圧力コントローラシリーズについては、ここをクリックしてください。

二、質量流量制御器の常用オプション

?後方バルブ、真空及び背圧応用の制御を最適化する

?バッチ制御モード、迅速なバルブ応答により流量を分配し、アキュムレータ(TOT)機能に含める

?CSA認証1類2区/ATEX認証1類2区危険環境への機器の使用を許可する

?9ピンまたは15ピンD-Subなどの接続コネクタオプション

?カラーバックライトディスプレイは光不足の場合に適している

三、Hammerマスフローコントローラパフォーマンスパラメータ

指標

マイクロソフト基礎クラスライブラリ

測定範囲

0.5SCCM、1SCCM、2SCCM、5SCCM、10SCCM、50SCCM、100SCCM。…20SLPM

精度

くりかえしせい

±0.2%

レンジ比

200:1

レスポンス時間

100ミリ秒

標準状態(STP)

25℃と14.696 PSIA(101.325 kPa)

おんどはんい

-10~50

ゼロドリフト

0.02%

レンジドリフト

0.02%

しつどはんい

0-100%

128%(過流動率)

大耐圧

145psi

しゅつりょくしんごう

質量流量、体積流量、圧力、温度

RS485、Modbus、Profibus

しゅつりょくしんごう

質量流量、体積流量、圧力、温度

アナログ信号オプション

0-5VDC、1-5VDC、0-10VDC、4-20mA

電気的接続

給電電圧

7-30 VDC(4-20 mA出力時:15-30 VDC)

給電電流

0.035 A(4-20 mA出力時:0.055 A)