Aalborgガス質量流量制御器

一、Aalborgガス質量流量制御器概要：

GFCシリーズはガス質量流量の測定と制御に用いられる。本製品の外殻は丈夫で耐久性があり、**度が高く、多機能で経済的で実用的な流量制御製品である。

アルミニウムまたは刺繍されていない鋼のシェルを選択可能、エンジニアリングユニット（標準）またはパーセンテージを表示するオプションがあります。持参した電磁比例弁は設定された流量を制御することができ、この弁は常閉弁であり、予期せぬ停電時には自動的に弁が閉じられる。セットポイントは、ローカルに制御することも、外部に制御することもできます。

センサーの上部に設置されたLCD表示モジュールを持参し、この表示モジュールは90度以上傾けて読み取りを容易にすることができる。標準的なプラグでセンサに接続されているか、個別に取り付けられています。OEMの応用はLCD表示のない製品を提供することができる。

二、Aalborgガス質量流量制御器操作原理：

2つの管路の設計は流体が層流状態にあることを保証し、したがって2つの管路の流量比は一定である。

2つの精密な温度誘導巻線は測定管で加熱され、流量が発生すると、加熱されたガスは上流から下流の誘導巻線に熱を持ち去った。温度差の発生と誘導コイル抵抗の変化は比例する。

測定巻線の抵抗値は瞬時流量に線形比例関係にあり、ホイートストンブリッジを用いて測定巻線の抵抗変化を検出する。

測定ガスの質量流量に応じて、0−5 VDCまたは4−20 mA信号を出力する。

2つの層流域を通過したガスは混合した後、具体的な特定の孔径の電磁比例弁を流れ、質量流量測定と電磁比例弁は閉ループの制御システムを構成し、流量を設定した流量値に安定させる。

一定範囲での温度と圧力の変化は流速に影響しない。

三、Aalborgガス質量流量制御器技術パラメータ：

製品名称：マスフローコントローラメーカー

精度：精度%FS

流量範囲0～100%20～100%0～20%

精度±1%±1.5%±3%

オプション精度%FS

流量範囲0～100%20～100%0～20%

精度±1%±1%参照データ，±1%

校正：標準状況【14.7 psia（101.4 kpa）、70℉（21.1℃）】

重複性：±0.25%フルマイル、

応答時間：フルマイルの25～100%の範囲内で、2秒以内に2%の精度を達成

温度係数：0.05%フルマイル/℃

圧力係数：0.01%フルマイル/psi（0.07 bar）

推奨ガス圧力：25 psig（1.73 bars）

*大気体圧力：GFC 17、37、47*大1000 psi（70 bars）.GFC 57、67、77*大500 psig（34.5 bars）

レンジ比：40：1

*大差圧：GCC 17/37/57/67/77 50 psi（3.4 bars）、GCC 47 40 psi（2.7 bars）

方位感度：水平から垂直への回転が15度未満、標準キャリブレーションは水平位置にあります

出力信号：線形0-5 Vdc（3000 ohms*小負荷インピーダンス）、線形4-20 mA（500 ohms*大回路抵抗）*大ノイズ±20 mV

制御信号：遠隔設定モード：アナログ0-5 Vdcまたは4-20 mA、NPN互換洗浄/閉弁

接続：GFC 17 and 37：1/4」ジャケット接続

6 mm、1/4 VCR、3/8または1/8カードカバーを選択可能

GCC 47：3/8」カードカバー

GCC 57：3/8」カードカバー

GFC 77：3/4”FNPT.オプション：3/4”カードカバー

漏れ率：ヘリウムガス漏れ率1*10­9 sml/s

入力電源：＋12 Vdc、800 mA、オプション+24 Vdc、650 mA

回路保護：回路基板内蔵極性保護、自動回復抵抗保護電源過負荷入力

表示：3-1/2デジタルLCD、0.5インチ高文字

CE認証：EN55011class1、classBEN50082-1