半導体材料中の高精度元素成分含有量検出器

半導体材料中の高精度元素成分含有量検出器

コア検出技術及び機器

1. 誘導結合プラズマ発光分光器（ICP-OES）

• 実験室で使用された機器（ICP-OES）詳細プロフィール：

• 計器パフォーマンスの特徴：

• 1、計器の自動化度が高い

• 計器の自動化の程度高い、電源スイッチを除いて、すべての操作はソフトウェアによって行われます。インテリジェント化されたソフトウェアは、リアルタイムで各操作にリアルタイムフィードバックと情報提示を行うことができる。

• 2、安全で信頼性の高いソリッドステート無線周波数電源

• 計器に採用された無線周波電源は、体積が小さく、出力効率が高く、出力電力が安定しており、水路、ガス路及び過負荷などの各種安全保護機能を備えており、計器の安全性を大幅に向上させ、計器の故障率を減少させた。

• 3、全自動点火及び整合技術

• ソフトウェアは全自動ワンタッチ点火ができ、すべてのパラメータ設定が変化し、自動的に完成する。自動整合技術を配合し、点火成功率が高く、操作が簡便である。

• 4、インテリジェント化された火炎監視機能

• 計器は感度を配置した高いの光ファイバセンサーは、計器の動作状態の下で、炎の動作状況をリアルタイムで監視することができ、異常な消火状況があれば、自動的に計器を閉じることができる。

• 5、超高解像度の光路システム

• 計器は超高解像度の4320目盛線の入口格子、嵌合*の光路調節技術を用いて、一般的な機器の解像度を約0、008 nmは0、005 nm以内に低下し、超高解像度はテスト要素間の相互干渉がないことを保証した。

• 6、せいど高いの恒温システム

• 計器全体の光路は精密恒温システムによって保護され、温度の制御は顧客実験室の実際の環境温度に基づいてリアルタイムに設定でき、長時間途切れることなく調整でき、温度制御精度≦±0、1℃、精密な恒温システムは光路の安定性を保証し、テストデータはより安定である。

• 7、高精度の気流制御システム

• 計器作動中のプラズマガス、補助ガス、キャリアガスはすべて高精度の質量流量制御器（MFC）を制御し、流量の連続調整が可能で、出力気流の精度が高く、テストデータの正確性を保証した。

• 8、クリープポンプ注入装置

• 計器は通路の12ローラーの高精度蠕動ポンプを配置し、同時に注入の精度と液溜まり防止、蠕動ポンプの回転速度を連続的に調整でき、顧客の多種のテスト要求を満たすことができる。

• 9、観測位置の自動調整

• 計器は2次元の移動プラットフォーム設計を採用し、ソフトウェアを通じてトーチ管の位置をリアルタイムに調節し、フィードバックされた信号値を通じて最適な観測位置を見つけ、強い感度を得て、正確なテスト効果を得ることができる。

• 10、超低の使用コスト

• 計器非作動状態で計器電源、冷却水タンク、ガスはすべて閉鎖され、いかなる費用も発生せず、計器の作動はすぐに使用され、長時間の光路予熱が必要ない。アルゴンガスを使用した純度は99、99*99、999%の高純度アルゴンを必要とせず、コストを少なくとも3分の1削減できます。

• 11、感度高いの検出器

• 計器は高感度輸入光電子増倍管（PMT）検出器として、異なる測定対象要素に対して自動的に試験パラメータを設定し、理想的な検出状態を達成し、正確な試験結果を提供することができる。冷房不要、パージ不要、長寿命。

• ICP-OES計器技術パラメータ：

• 1、入力電源：電圧交流220 V、電流20 A。

• 2、採用CzernyTurner型光路、焦点距離は1000 mm。

• 3、イオンエッチングホログラム格子、エッチング面積（80×110）mm。

• 4、全自動ワンタッチ点火、自動整合、点火安定、便利。

• 5、同心円霧化器を用いて旋回流霧室を組み合わせ、1 ppmMn強度＞1000000 cps。

• 6、分解能（Mn 257、610 nm）：≦0、005 nm（4320刻み格子）、≦0、008 nm（3600刻み格子）、≦0、015 nm（2400刻み格子）。

• 7、波長範囲：190-460 nm（4320刻み格子）、190 ~ 500 nm（3600刻み格子）、190～800 nm（2400刻み格子）

• 8、自主的に全固体無線周波電源を開発し、出力電力800-1600 W、連続調整可能、電源効率65%より大きく、動作周波数27、12 MHz、周波数安定性＜0、05%、出力安定性＜0、05%である。

2. X線蛍光分光器（XRF）

• シリコンシート表面の金属汚染物の迅速なスクリーニング検査。

• 石英るつぼの純度検証。

• H、He、Li、Beなどの軽元素に対する感度は低い（検出限界＞0.1%）。

• 定量精度はマトリックス効果（相対誤差約1〜5%）に影響される。

• 非破壊検出：試料は溶解または研磨する必要はなく、固体、粉末、液体を直接分析することができる。

• 検出範囲が広い：ナトリウム（Na）からウラン（U）までのほとんどの元素を分析することができる。

• クイック・フィルタリング：検査時間はわずか数秒から数分で、生産ラインのロット検査に適している。

• 波長分散型（WDXRF）：解像度が高く、高精度定量分析に適している。

• エネルギー分散型（EDXRF）：速度が速く、携帯性があり、現場分析に適している。

• 原理：X線でサンプルを照射し、特徴的な蛍光X線を励起し、波長と強度を測定することにより元素の種類と含有量を決定する。

• 分類：

• 優位：

• 局限性：

• シーンを適用：

• シーンを適用：

半導体材料中の高精度元素成分含有量検出器