Hellmaフッ化カルシウム（CaFガリウム）LD−A高純度原料

LD-A高レベル品質制御、低欠陥、高レーザ損傷閾値

Hellma LD−Aはフッ化カルシウム材料中の高グレード光学品であり、極めて低い欠陥密度、高純度、高構造完全性を代表する。材料生産過程において超高純度原材料、真空単結晶成長プロセス、長時間高温アニール、精密応力除去、欠陥検出スクリーニングなどの全プロセス品質制御を採用し、内部気泡、介在、転位、双晶、散乱点などの欠陥を検出限界以下に制御する。

低欠陥特性は直接に高いレーザー損傷閾値をもたらし、193 nm高出力エキシマレーザー連続動作条件下で、LD-A型式フッ化カルシウムは表面損傷、体損傷、格子破壊が現れにくく、長期高出力レーザー放射に耐えられ、使用寿命は一般等級フッ化カルシウム材料をはるかに超える。半導体リソグラフィ、高出力レーザシステムなど信頼性に対する要求が高いシーンに対して、LD-Aレベルは素子交換周波数を著しく低下させ、システムの連続稼働時間を向上させることができる。

大寸法高精度加工、寸法公差と表面品質はシステム組立要求を満たす

今回の解析素子の寸法は直径100 mm、厚さ30 mmの大判円形平板であり、光学系における大型窓、レンズ基材に属する。製品の寸法公差は±0.5 mmの範囲内に厳格に制御され、素子の光学レンズ群、キャビティ窓、検査設備における正確な組み立てを保証でき、寸法偏差による組み立て応力、光路オフセット、シール失効などの問題を回避できる。

素子表面は研磨（geschliffen）加工を採用し、表面粗さRq 2µmは、高精度研磨前の基礎表面要求を満たすことができ、同時に超高平滑表面を必要としない紫外窓、レーザー伝送素子に直接使用することができる。同時に1.5 mm標準保護面取り設計により、エッジ応力集中を解消し、部品の組立、輸送、使用過程におけるエッジ崩れ、亀裂、破損を防止し、部品構造強度と使用寿命を向上させることができるハンダソンyds呉亜男。

Hellmaフッ化カルシウム（CaFガリウム）LD−A高純度原料