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北京欧波同光学技術有限公司
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しゅうそくイオンビームでんきょう

交渉可能更新01/18
モデル
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プロデューサー
製品カテゴリー
原産地

概要

Thermo Scientific Helios 5 Laser集束イオンビーム電子顕微鏡は優れた能力、大体積3 D分析、Ga-freeサンプルの調製、精密微細加工を提供した。

製品詳細

Thermo Scientific™ Helios™ 5 レーザーしゅうそくイオンビームでんきょう優れた能力、大体積3 D分析、Ga-freeサンプルの調製、精密微細加工を提供した。革新的で、*統合されたフェムト秒レーザは、比較的速い材料除去率と比較的に高い切断面品質を提供し、ミリスケール範囲のナノ解像度で比較的に速い高品質のサブ表面と3次元キャラクタリゼーション装置である。
☆ミリスケールの断面に対して、比較的速い材料除去速度は典型的なGa+FIBより15000倍速い
☆関連するサブ表面と3 Dデータ解析を統計し、より短い時間でより大きな体積を得る
☆繰り返し可能な切断配置と3つの束をサンプルに重ね合わせる
☆サブ表面TEMシートまたはブロックを抽出することにより深部特徴を迅速に特性化し、三次元解析に用いる
☆非導電性またはイオンビーム感受性試料などの挑戦的な材料の高スループット処理
☆画像形成および断面製造のために異なる機器間での移動を必要としない迅速かつ簡単な空気感受性試料の特性化
☆Helios 5 PFIBプラットフォームのすべての機能を含み、高品質のGa-free TEMとAPTサンプルの調製及び*の高解像度イメージング能力を含む
Thermo Scientific™ Helios™ 5 レーザー集束イオンビーム電子顕微鏡パラメータ:
フェムト秒レーザPFIB
大容量:2000×2000×1000μm 3
大ビーム流:~ 1 mA(イオンビーム電流と等価)
切断束流:74μA
ビームスポットサイズ:15μm
レーザー集積:3ビーム(SEM/PFIB/laser)*倉庫に集積され、同じ重合点を持ち、
繰り返し可能な切断位置と3 D特性化を実現する。
第一高調波:波長1030 nm(赤外)、パルス持続時間<280 fs
第二高調波:波長515 nm(緑)、パルス持続時間<300 fs
電子光学:
☆三束重合点WD=4 mm(SEM/FIBと同じ)
☆可変対物レンズ(電動)
☆分極:水平/垂直
☆パルス周波数:1 kHz ~ 1 MHz
☆ビームフロー位置精度:<250 nm
保護ベゼル:自動SEM/PFIB保護ベゼル
ソフトウェア:
☆レーザー制御ソフトウェア
☆レーザー三次元連続スライスワークフロー
☆EBSDレーザー三次元連続スライスワークフロー
☆レーザーコンパイル
安全性:インターロックレーザハウジング(1次安全)