電界放出走査電子顕微鏡

蔡司GeminiSEM 360

FE−SEMはサブナノイメージング、分析、サンプルの柔軟性の高い要件を満たしている

ツァイスGeminiSEMは、サブナノメートルレベルの解像度のイメージングを容易にするのに役立ちます。優れたイメージングと分析技術により、FE-SEM（電界放出走査電子顕微鏡)が鬼に金棒。革新的な電子光学システムと新しいサンプル倉庫設計を採用し、操作がより簡単になるだけでなく、用途がより柔軟で多様になるだけでなく、より高い画像品質をもたらすことができます。1 kV未満のサブナノスケール画像を水浸し対物レンズなしで撮影できる。蔡司Gemini電子光学系の3つの設計を探索する：

l分析テストプラットフォームの理想的な選択――蔡司GeminiSEM 360

l効率的な分析の実現——ツァイスGeminiSEM 460

l表面イメージングの新しい基準——蔡司GeminiSEM 560

ジェミニSEM 360（電界放出走査電子顕微鏡）は、テストプラットフォームを分析するための理想的なデバイスであり、材料とライフサイエンス、工業分野に有益な機能性を提供しています。GeminiSEM 360は、そのGemini 1電子光学鏡筒により、さまざまな用途やサンプルタイプに高解像度のイメージングと分析を提供することができる。

✔高いサンプル柔軟性

✔優れたユーザーエクスペリエンス

✔優れた拡張性

高いサンプル柔軟性

✔ GeminiSEM 360はテストプラットフォームを分析するための理想的な設備であり、材料と生命科学、工業分野に有益な機能性を提供している。

✔ 同名のGemini 1電子光学設計は、低電圧条件下でも優れた分解能を持ち、高プローブ電流条件下で高速イメージングを提供する表面感度の高い高分解能画像を提供する。

✔ Inlens二次電子イメージングと後方散乱電子イメージングは、高分解能の表面形態と複合成分のライニング情報を同時に収集することができる（電子ビームに敏感なサンプルも同様）。

✔ 低真空条件（可変圧力）で絶縁サンプルをイメージングする場合、Inlensライニングを犠牲にする必要はありません：NanoVPは優れた機能を保証し、荷電映画の音を受けずにInlensイメージングを行うことを確保します。

優れたユーザーエクスペリエンス

✔GeminiSEM 360は優れたユーザー体験をもたらします：その広い観察視野と高度に個性化された新しいサンプル倉庫によって、超大型サンプルに直面しても簡単に検査することができます。

✔蔡司ZEN Connectによる関連イメージングと関連顕微技術により、シームレスなナビゲーションを楽しむことができます。

✔オートフォーカス機能やインテリジェント検出器などの自動機能を使用して、簡単に鮮明な画像を取得できます。

✔幾何学的に対称的に設計されたEDSポートとコヒーレントEDS/EBSDジオメトリにより、効率的なイメージングと分析ワークフローを実行する際に余裕が生まれます。

✔蔡司Predictive Service（予防的メンテナンス）により、システムの稼働時間を活用して、いつでも定期的にメンテナンスを行うことができます。

優れた拡張性

✔システムの継続的なアップグレードは、お客様の投資を保証するための前提条件です。そのため、GeminiSEM 360は蔡司ZEN coreソフトウェアエコシステムの一員でもあり、システムのアップグレードの利便性を享受することができます。

✔ZEN Connectはマルチモードとマルチスケールデータを結合することができ、ZEN Intellesisは高度な人工知能によってサポートされている画像分割に使用され、ZENの分析モジュールは分割されたデータを報告し分析するために使用され、ZENデータストアは実験室の異なるデバイスに接続して収集されたデータを接続することでプロジェクトを集中的に管理することができます。

✔APEERコミュニティのメンバーとして、他のユーザーが作成したワークフローとスクリプトにアクセスすることができ、リモートで課題を解決するのに役立ちます。

✔明確なアップグレードパスを提供することで、システムは新機能のリリースに合わせてさらに向上することができます。

基本原理の概要

FE−SEMは高分解能イメージングに特化して設計されており、性能の鍵の1つはその電子光学鏡筒である。Geminiは、任意のサンプルの優れた分解能を実現するために特別に設計されており（特に低加速電圧で）、完全で効率的な検出を実現し、操作が簡単である。

Gemini電子光学系には以下の3つの主要な特徴がある：

●Gemini対物レンズの設計は静電場と電磁場を結合し、光学性能を大幅に向上させると同時にサンプルへの影響を大幅に低減する。このようにしても、磁性材料などに挑戦的なサンプルの高品質イメージングを実現することができる。

・Gemini電子ビームプロペラ技術は、小型の電子ビームスポットと高信号対雑音比を確保する集積ビーム減速機である。

●Gemini Inlensの検出設計原理二次電子（SE）と後方散乱電子（BSE）を同時に検出することにより、画像までの時間を大幅に短縮し、効率的な信号検出を確保した。

アプリケーションには、次のような利点があります。

✔ SEM電子ビームアライメントは長期的に安定を維持でき、プローブ電流と加速電圧を変えることはシステムにほとんど影響しない。

✔ 磁場リークがほとんどない光学系は、歪みのない高解像度イメージングを実現することができる。

✔ Inlens SE検出器を使用すると、真の表面感受性SE 1電子技術により画像を生成することができ、サンプルの最上階の情報のみを得ることができる。

✔ Inlens EsB検出器の検出設計理念を用いて、非常に低い電圧で真の材料成分の裏打ち度を得る。