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メール
marketing@dymek.com
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電話番号
13917837832
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アドレス
上海市浦東金高路2216弄35号6棟306-308室
製品カテゴリー
岱美計器技術サービス（上海）有限公司
概要
FR-Scanner-IO-Mic-XY 300は、全自動パターン化されたウエハ上の単層および多層コーティングの厚さ測定のための統合自動フィルム厚さ測定システムである。電動X-Yステージは適用サイズ300 mmx 300 mm mm mmのストロークを提供し、真空でステージに固定する際に正確な測定を行う。測定可能な厚さと波長範囲の用途のニーズに応じて、200〜1700 nmのスペクトル範囲で様々な光学構成を提供することができる
製品詳細
製品概要：
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY 300モジュラー型厚さマッピングシステムは光学、電子、機械モジュールを集積し、無図形フィルムと図形フィルム（例えばマイクロ図形表面、粗面）の正確な測定を兼ねることができる。
ウェハを真空チャック（ウェハ寸法直径≦300 mm）上に置き、反射率標準部品を備える。強力な機能を持つ光学モジュールによって測定が行われ、スポットサイズは数ミクロン未満である。電動プラットフォームはXY方向300 mmのストロークを提供し、速度、精度、再現性に優れた性能を持つ
FR-スキャナー-AIO-マイク-XY300提供：
oリアルタイム反射率分光測定
oフィルム厚さ、光学特性、不均一性測定、厚さ測定
o統合された、USB接続された高品質カラーカメラを用いた撮像
o測定パラメータ広範統計データ
o半自動パターンアライメント機能周期的パターン領域を測定するためのもの
o違うソフトウェア機能、例えば：Click 2 Move（スクリーンクリック測位測定点）、スケール
添付ファイル：
FR-AutoFocus：オートフォーカス用の100 mm長線形軸で、2種類の動作モード：画像合焦（コントラスト）/反射強度
Rotation Module：回転モジュール電動プラットフォームは高い解像度と精度を提供する
FR-FilterWheel：電気フィルタモジュール12個のフィルタを収容できるスロットを備えてコンピュータにより自動制御される：フィルタサイズ：直径0.5インチ、最大6個のフィルタ（1インチ）
FR-AutoTurret：オートタービンはコンピュータ制御により4つの対物レンズを収容可能：レンズ切替速度は約1.0-3.0秒
Lenses：長動作距離VIS/NIRレンズ：5 X、10 X、20 X、40 X、50 X
反射型UV/NIRレンズ：10 X、15 X、25 X、40 X
Pump：低騒音真空ポンプ、2.5 L/min、真空度-60 kPa.
Chucks：6インチフォトマスクチャック6インチ基準シート付き領域、多結晶チャック（100〜300 mm及び不規則形状シート）、基準領域及び暗領域を含み、自動基準用
仕様：
2 D厚さ図：
3 D厚さ図：
測定原理：
