ダイナミックガスメータ

ダイナミックガスメータ製品紹介

MIXシリーズダイナミックガスメータ、標準ガスを一定割合で希釈出力設定濃度ガスを実現でき、連

4種類のガスを継ぐ。ガスセンサ、ガス分析計などの製品の校正機器に使用される。この製品はガスに基づくMFC（質量流量制御

製器）の原理に基づいて、ISO 6145/7などの規格に基づいて製造されている。静電容量タッチスクリーン液晶インタフェースを備え、すべての機能管理が簡単

を使用します。各質量流量制御器はトレーサビリティ基準によって前進する

ラインファクトリキャリブレーションは、NIST（米国国家標準技術研究院）トレーサビリティキャリブレーション証明書を持っている。

ダイナミックガスメータ製品の特徴

高精度マスフローコントローラ、1%より優れた精度

高効率の混合ガス装置と優れた吸着防止管路設計は、吸着しやすく、反応しやすい化合物の希釈配気に適している

広いダイナミックレンジ（通常の希釈倍数1：1〜1：10000）、

拡張性

高速ガス流量制御（安定時間＜100 ms）

予熱時間≦5 min

標準ガスの単路は最大4種類のガスを切り替えることができる

30個のキャリブレーションポイントを格納できる格納機能を備えている。シーケンスを備える

キャリブレーション機能、30種類のキャリブレーションシーケンスを記憶可能

タイミング機能を備え、計器自動起動シーケンス校正

Ethernet、RS 485、RS 232インタフェースを備え、遠隔制御機器の動作が可能

計器は自動洗浄機能を備え、自動で管路洗浄を行うことができる

ダイナミックガスメータ製品仕様

流量精度：0.8%セットポイント（オプション0.6%セットポイント）

希釈比：1：1～1：1000（カスタマイズ可能）

応答時間：<=600 ms

予熱時間：<=5 min

希釈ガス流量範囲：0 ~ 10 SLPM（他のレンジを選択可能）

標準ガス流量範囲：0 ~ 100 SCCM（他のレンジを選択可能）

配管材質：316 Lステンレス/PFA/PTFE

給電電源：200 ~ 240 V、50/60 Hz

給電電力：<=50 W

通信インタフェース：1＊Ethernet、1*RS485;1*USB;2*RS232

動作温度範囲：0 ~ 50℃

サイズ：560*482*133 mm（縦*幅（高さ）

重量：約15 kg

ダイナミックガスメータ適用範囲

ガス分析機器の試験と校正

ガスセンサのテストと較正

サンプルガス調整

スペクトル、クロマトグラフィ

環境空気自動監視ステーション