-
メール
1399511421@qq.com
-
電話番号
18049905701
-
アドレス
上海市康橋東路1369号C棟220
製品カテゴリー
上海沛沅計器設備有限公司
概要
PLUTO-MH国産プラズマエッチングマシンは、大学、科学研究所、企業実験室、または小ロット生産の革新的な企業向けに開発された革新的な実験プラットフォームである。ユーザーの異なるニーズに対して、通常の性能を得ると同時に、表面めっき（コーティング）、エッチング、プラズマ化学反応、粉体プラズマ処理など多くの能力を持つ異なる機能付属品を提供します。
製品詳細
PLUTO-MH国産プラズマエッチングマシン特徴：
1.プラズマ処理に厳しい要求がある場合に使用する
2.プラズマ源の使用頻度は13.56 MHz無線周波数発生器であり、物理反応と化学反応を両立する
3.500 W電力電源を採用し、自動インピーダンス整合、高電力無線周波発生器は各種実験要求に対応でき、高エネルギー密度と高処理効率を保障する
4.高精度真空度制御、各種処理ニーズに適応
5.316ステンレス鋼キャビティ（または6061アルミニウム合金）、全ステンレス鋼管路と接続部品、各種ガス（腐食性ガスを含む）に適用する
6.4.3寸工業級タッチスクリーン、ソフトウェア操作が便利で、多種のパラメータ設定とプロセス組み合わせ処理モード
7.多種の部品を追加でき、コーティング膜、電極温度制御、プラズマ強度制御、プラズマ化学反応などの機能（特別な応用があれば、販売員に相談してください）
8.ユーザーのニーズに応じて、対応プラズマ処理方案を提供し、特殊用途設備をカスタマイズする
PLUTO-MH国産プラズマエッチングマシンパラメータ:
真空チャンバ仕様：316ステンレス鋼チャンバ、直径210 mm*（深さ）230 mm約4 L
電極：2つの適応平板電極、材質T 6061アルミニウム合金（テフロン被覆無孔平板電極を提供でき、両面処理サンプルが必要な場合）
電極寸法：120*135 mmピッチ20 ~ 75 mm調整可能（反転可能）
プラズマ発生器：RF無線周波数発生器、周波数：13.56 MHz
電力：0-500 W連続調整可能、自動インピーダンス整合、精度1 W
ガス制御：針式ガス流量弁、標準配置1路ガス、オールステンレスパイプと接続部品
制御方式：4.3インチ工業制御タッチスクリーン
制御ソフトウェア機能：インタフェースはリアルタイムの動作状態を表示し、
設定値と実際の値を表示することができ、リアルタイム制御を容易にすることができます。
プラズマ電力を自由に設定でき、ガス投入時間
多段操作権限、複数のプロセスパラメータの組み合わせ制御、
全手動制御および全自動制御オプション
保護装置：ワンタッチ緊急停止保護ボタン
（その他の機能が必要な場合は、営業担当者にお問い合わせください）
PLUTO-MH国産プラズマエッチングマシン応用分野：
異なるモジュールの構成、異なるアプリケーションの拡張
加熱電極モジュール-温度制御が可能で、プラズマ処理速度を加速し、サンプル処理の均一性を大幅に高めることができる
コーティングモジュールを堆積し、表面特性を変更する：
CF材料を堆積し、サンプル表面に撥水の特性を持つことができる
ベンゼン含有材料を堆積し、サンプル表面が絶縁防水の特性を発揮する
水酸基を含む材料を堆積し、サンプル表面と他の材料の結合効果を高める
誘導結合モジュール−誘導結合プラズマ装置
ガスこんごうそうち
必要に応じて混合ガス設計を行うことができる
ガス精製と反応
ガス精製及びプラズマを用いた関連材料との化学反応
