デジタルマスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラ製品の特徴

測る質量流量をはかる

温度や圧力補償が不要

コンパクトな構造

作動圧力が高い

応答時間が速い

反復性が高い

デジタルマスフローコントローラ技術仕様

レンジ範囲：5 SCCM-3000SLPM

精度：±1%フルレンジ

レンジ比：50：1

再現性：<0.2%

動作温度：-10~50℃

漏洩率：<2 x 10-9ミリバール／秒He

予熱時間：標準30分

圧力レベル：3MPa；10MPa

液体接合材料：316リットル

シールマテリアル：標準ディメンションパス、オプショントリエチルプロピレンゴム、カルレッツ.

保護レベル：IP40

電力供給電源：+15~24VDC

電流：70mA

アナログ出力信号：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC

デジタル出力信号：RS 485 MODBUS RTU

電気インタフェース：標準直径9メートル

プロシージャインタフェースサイズ：オプション

デジタルマスフローコントローラ注文パラメータ

ガスの種類

レンジレンジ

しようあつりょく

いりぐちあつりょく

しようおんど

精度要件

しゅつりょくしんごう

プロセスインタフェース寸法