コンパクトデスクトップリソグラフィシステム

マスクレスリソグラフィ技術の再定義
LITHO MASKLESは、UV LEDベースのDLPエンジンを用いたマスクレスパターン化を実現するコンパクトなデスクトップリソグラフィシステムです。設計は簡潔で、精密で、微加工技術を清浄室と任意の研究や教育空間から持ち出す。

従来のマスクアライナの限界を克服する：
-従来のマスクアライナは半導体研究に長期的に支障をきたしてきた
-設備が重く高価
-操作手順が複雑で硬直している

-マスク製造の納期
-マスクあたりのコストは非常に高い通常数百～数千ドル

顕微鏡を取り付けることができるモジュール：

従来のブランド顕微鏡との併用が可能で、スペースを追加する必要はありません。
PLANCKソフトウェアによる即時投影：

画像をアップロードし、数秒以内に露光します。
クリーンルーム操作：

クリーンテーブル内で直接使用します。
マスクなしワークフロー：

画像パターンをカスタマイズするには：
PNG、JPG、グレースケールモードをサポートし、柔軟な実験設計を実現する。

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コンパクトデスクトップリソグラフィシステム