原子層堆積システムコーティング機

設計理念

1.SE seriesはThermal-ALD、PEALD、ALAなどの*プロセスを実行できます。

3.原子層堆積システムの設計は便利で、安定で、再現性の高い製品の位置づけを持っている。

設計の特徴

1.モジュール化前駆体導入システムはメンテナンス、メンテナンス、拡張が容易で、最大4組の前駆体を使用でき、低蒸気圧前駆体を使用することができる、シャントによる管路閉塞と粉塵問題の回避

2.低漏洩率特殊設計、低用量汚染源の影響を排除できるプロセス結果

3.現行の多数材料プロセスの需要を満たす：Oxide or nitride of Al、Si、Ti、Zr、Hf、etc.Metal（TBD）4.単系統幅54 cm内、実験室友好寸法

5.特殊プラズマ源設計（Remote plasma）によりGPC 6%（ICPと比較）向上

6.特殊吸気設計による均一性の改善（U%<2%）死角残留問題に対する特殊設計

原子層堆積システムコーティング機