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メール
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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電話
18610520676
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住所
北京経済技術開発区景園街13号院
製品分類
北京華丞電子有限公司
概要
ESC DCパワー、すなわちESC直流電源は、静電チャック（ESC）専用の直流高圧静電電源であり、本製品は双極出力電源であり、正と負の直流電圧を同時に提供することができ、専用ケーブルとフィルタ回路を通じて静電チャック直流電極に接続し、静電チャックに吸力を発生する直流高圧を提供する。
製品詳細
革新的なポイント
極性反転、放電機能を備える
単極/双極出力電圧の極性反転機能を実現することができ、自動放電回路を内蔵し、静電チャック上の残留電荷を迅速に安全に放出することができます。
監視機能を備えている
出力電圧、出力電流、入力バイアス（CT）の監視機能を実現でき、アナログ量またはデジタル量を通じてリアルタイムにフィードバックし、特定のプロセス要求を満たすことを確保できる。
出力保護機構を備える
過電圧保護を備え、出力電圧が設定値の10%を超えると出力を閉じる、過電流保護があり、制御端により電流制限値を設定し、出力電流が設定値の10%を超えた場合に出力をオフにすることができる。
応用分野
半導体-集積回路
半導体-パッケージ
半導体ディスプレイ
はんどうたいしょうめい
技術指標
| モデル | BEC0402 | BEC0301型 | BE1200/BEC1200 |
| 電源入力 | 24VDC、1A | 24VDC、2A | |
| 出力電圧 | 0〜±2000Vdc（4000Vdc） | 0〜±1500Vdc（3000Vdc） | 0〜±6000Vdc（12000Vdc） |
| 出力電圧精度 | 設定値1000 Vdc-4000 Vdcの範囲内、誤差1%以内（of set point） 設定値<1000 Vdc、誤差実績値=設定値±10 Vdc | 設定値1000 Vdc-3000 Vdcの範囲内、誤差1%以内（of set point）、 設定値<1000 Vdc、誤差実績値=設定値±10 Vdc、 | 設定値1000 Vdc ~ 1200 Vdcの範囲内、誤差1%以内（of setpoit） |
| 出力電流 | 0~10V:最高0~2mA |
| 0~10V:最高0~1mA |
| 出力電圧線形誤差 | 30Vdc-4000Vdc，1%以内 | 30Vdc-3000Vdc，1%以内 | 1000Vdc-12000Vdc，1%以内 |
| 通信方式 | 手動、25 pin I/O、RS 232 | ||
| CT（センタータップ） | 検出可能/設定可能、0-10 V：0 Vdc ~-2000 Vdc | 検出可能/設定可能、5-10 V:-1000 Vdc ~+1000 Vdc | 無 |
| その他の説明 | 双極タンデム設定CT機能のアップグレード | アップグレード機能 （1）新規VR+/VR-命令：極性反転モードの許可/無効 （2）新たなSCT指令：CT値の設定（3）新たな限流保圧機能の追加 | BEC 1200はデュアルプラスデュアルマイナス機能をサポートする |
| HV対地分離 | ＞10M | ||
| 入出力分離 | ＞500M | ||
| 極性反転 | サポート | ||
| ほうでんきのう | サポート | ||
| 保護メカニズム | 過電圧保護、過電流保護 | ||
