製品紹介：

KLAプロフィルム3 Dは3 D白色光干渉プロファイル計。KLA Profilm 3 D光学輪郭計は垂直干渉走査（WLI）技術と位相干渉（PSI）技術を使用する。低価格でサブナノスケールの表面形態研究を実現する。白色光干渉原理を採用し、サンプルを損傷しない。

製品特徴の優勢：

• 視野範囲：Profilm 3 Dは10倍対物レンズだけで2 mmに達する視野範囲を提供し、同時にその最大4倍光学ズームの機能は異なる応用時に複数の対物レンズを切り替える需要を満たしている。これらは、購買需要コストをさらに削減します。

• 100 mm自動XYサンプル台：各Profilm 3 D光学輪郭計には100 mm自動XYサンプル台が搭載され、4穴対物レンズ回転台と手動レベリング装置が標準配置とされている。

• 性価比が高い：より低い価格でサブナノスケールの表面形態研究を実現する。

• 鄒非接触式高精度測定鄒：垂直分解能は鄒亜ナノスケール鄒（<1 nm）に達することができ、敏感材料（例えば軟質ポリマー、生物サンプル）の非破壊検査に適用する。

• 鄒測定簡単：鄒Profilm 3 D光学輪郭計ソフトウェアの直感的な反応には表面粗さ、形状、段差高さの測定が含まれる。数秒以内に、平面およびサーフェス表面で一般的に測定される粗さパラメータをすべて取得できます。分割機能ソフトウェアのアップグレードを選択して、大面積測定を提供するために複数の画像を組み合わせることもできます。

製品測定原理：

KLA Profilm 3 D光学輪郭計は白色光を光源とし、ビームを分光鏡を通じて2つに分けた：一方は被測定試料表面に照射し、他方は基準鏡表面に投射し、2つの反射光はCCDカメラに干渉縞を形成する。サンプル表面の微小な高さ差は光路差の変化をもたらし、干渉縞の明暗分布と位置ずれを分析することにより、表面の各点の相対高さを計算し、3次元形態データを生成した。

主な用途：

3 D白色光干渉プロファイル計パラメータ:

KLA Profilm 3 D光学輪郭計図：