3次元測量プロファイル

3次元測量プロファイル

3次元測量プロファイル

三次元表面微視的測定及び粗さ評価は精密加工、半導体加工、材料分析などの分野に広く応用されている

優位

√滑らかな表面測定分析に適したサブナノスケールの縦分解能

√シンプル、正確、高速、繰り返し可能

√豊富な測定モードのサポートの違い2 D/3 D需要の測定

機能

√表面三次元粗さ非接触測定

√表面微視的三次元構造測定

√膜厚測定と分析

√顕微反射スペクトル測定(選ぶ)

適用対象

精密光学素子、マイクロナノ加工装置、金属機械加工部品、ウエハなど

そくていげんり

√白色光干渉顕微鏡測定原理：白色光光源を用いて、インコヒーレント光干渉と高分解能顕微鏡撮像技術を結合して微視的に形成する

√顕微分光測定：オプション分光モジュールは表面マイクロ領域分光測定と膜厚測定機能を実現できる

実際のケース