12インチ縦型中高温酸化炉

1. 製品の概要：

理論家X 302主な用途12インチ600℃-1200℃の酸化及びアニールプロセス。この機台は縦型単キャビティ炉管システムであり、プロセス処理過程は高度な自動化を実現した。システムは主に伝送モジュール、プロセスモジュール、電源キャビネットなどの部分から構成されている。

2. 装置アプリ：

ウェハサイズ

12インチ

適用材料

シリコン

適用プロセス

こうおんかんそう/湿式酸素酸化、DCE酸化、窒素添加酸化、高温焼鈍

適用領域

先進集積回路、パワー半導体、基板材料

3. 特色パラメータ：

湿式酸素酸化プロセスは酸素に水蒸気を加えて酸化反応を行う。北方華創 THEORIS X 302酸化炉設備は湿式酸素酸化プロセスに優れている。酸化膜の成長速度と品質の正確な調整を実現するために、水蒸気の含有量と入力方式を正確に制御することができます。温度制御においても、同様に高精度の特徴を備え、湿潤酸素環境下でシリコンウエハが均一に熱を受けることを確保し、それによって均一で緻密な酸化膜を形成する。ガス流量の調節も非常に正確で、プロセスの需要に応じて酸素と水蒸気の割合を柔軟に調整することができ、異なる製品の湿式酸素酸化プロセスに対する特殊な要求を満たすことができる。その優れたプロセス安定性と反復性は、湿式酸素酸化プロセスの結果を予測でき、信頼できるようにする。

4.設備の特徴

先進的な粒子制御技術

先進的な金属汚染制御技術

高精度温度場制御技術

急速な上昇をサポート/温度降下技術

高生産能力