データ収集システム

データ収集システムDAQ 6510は6桁分解能と15個の内蔵測定機能を用いて測定した。低電流、低抵抗、温度測定を行い、内蔵ディジタルを使用して過渡信号を表示します。

v電圧：100 nVから1000 V、基本DCV精度は0.0025%

v電流：10 pAから3 A

v抵抗：1μΩ〜120 MΩ

v容量：0.1 pFから100μF

v のデータ収集システム熱電対、抵抗温度検出器及びサーミスタを用いた温度測定（温度範囲は−200°C〜1820°C）

v 1 Mサンプリング／秒、16ビットディジタイザ、700万個の読み取りを収容できるストレージ

v 12個のプラグインスイッチモジュールと最大80個のチャンネルの容量を通じて試験システムにより多くの選択を提供する

v 60 Hz（50 Hz）の電源線を0.0005電源線周期または8.3μs（10µs）と短い測定を行った。

v固体マルチプレクサプラグインスイッチモジュールを用いて毎秒800チャンネルの速度でスキャンする。

v最大80個の2極チャネルを走査し、単一試験で統計学的に意義のある数のDUTを試験することができる。