シムスピンコータ

シムスピンコータWS-650 型高速回転する基板上に、各種のゴム液を滴下し、遠心力を利用して基板上に均一にゴム液を塗布すると、回転速度と時間、ゴム液と基板間の粘性係数が成膜厚に影響し、回転過程と回転系の安定性は成膜品質にも大きな影響を与える。

1.サンプルサイズ：φ3～300 mm

2.加速度：80000 rpm/s（空荷重）、30000 rpm/s（荷重：100 mm標準ウエハ）

3.回転数：1 ~ 12000 rpm、サーボモータ解像度4000 P/rev

4.回転方向：Hz型モータを選択し、回転方向を双方向に調整可能

5.CDA/N 2気流保護技術

6.オプションの自動滴下モジュール、EBRウエハ縁取りモジュール

7.多種類のパレットを選択可能で、各材質のサンプルを適用する

シムスピンコータトレイソリューション

1.常用真空トレイ：10 ~ 150 mm交換不要。

2.埋め込み式：トレイの中央部に円形の溝を作り、サンプルを埋め込むことができ、サンプルの厚さが大きすぎてガス渦効果を引き起こすのを避けることができる。

3.ハニカム式：超薄型で変形しやすい軟質材料と割れやすい材料に適用する。

4.カードトレイ：真空吸着できないサンプル、または両面に処理が必要なサンプルに適用する。固定する時はできるだけトレイとの接触面積を小さくする必要があるため、カードトレイを使用することもでき、カードトレイを使用する時は回転速度が高すぎるべきではない。