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無錫地心科学技術
無錫地心科学技術有限公司
概要
ZTT-V 2シリーズヨーテーブルカスタム運動システムは垂直昇降と水平調平三軸一体式精密位置決めプラットフォームであり、直線モータ駆動を利用し、精密球形ヒンジ結合を採用し、非常に優れた微動精度と動態性能を備えている。全体の高さは小さく、寸法は精巧で、剛性は高く、負荷能力は10 kgに達することができ、クリーンルーム環境の使用に互換性がある。$r$n$r$nZTT-V 2は点から点までの静的位置決め精度を備えると同時に、非常に突出した動的精度を備えており、微動と動的追従誤差に厳しいウェハ検出、光学アライメント、パネル検出またはマスクレスリソグラフィなどの応用に適応できる。
製品詳細
ZTT-V 2シリーズヨーテーブルカスタム運動システム垂直昇降と水平調平三軸一体式精密位置決めプラットフォームであり、直線モータ駆動を利用し、精密球形ヒンジ結合を採用し、非常に優れた微動精度と動態性能を備えている。全体の高さは小さく、寸法は精巧で、剛性は高く、負荷能力は10 kgに達することができ、クリーンルーム環境の使用に互換性がある。
ZTT-V 2シリーズヨーテーブルカスタム運動システム点から点までの静的位置決め精度を備えると同時に、非常に突出した動的精度を備え、微動と動的追従誤差に対する厳格なウェハ検出、光学アライメント、パネル検出またはマスクレスリソグラフィなどの応用に適応でき、センサの焦点高さに基づいて高さと角度姿勢をリアルタイムに調整し、顧客の運動制御の難題を多方面に解決する。
ZTT-V 2プラットフォームの最小ステップテスト
Z 20 nmへのステップ
各軸の位置安定性
| Z | θx | θyは | |
| 有効ストローク\ Travel | 5mm | 2° | 2° |
| 位置決め精度\ Accuracy | ±0.3μm | 適用不可 | 適用不可 |
| 繰り返し位置決め精度\ Bi-Repeatability | ±0.1μm | ±0.1アーク秒 | ±0.1アーク秒 |
| 最大速度\ Maximum Speed（1） | 20 mm/秒 | 適用不可 | 適用不可 |
| 最大加速度\ Maximum Acceleration（1） | 1グラム | 適用不可 | 適用不可 |
| 最小ステップ数\ Minimum Incremental step（2） | 20ナノメートル | 0.05アーク秒 | 0.05アーク秒 |
| 最大負荷\ Load Capacity | 10キロ | ||
| プラットフォーム重量\ Stage Mass | 8キロ | ||
| プラットフォームマテリアル\ Material | アルミニウム | ||
備考：
（2）デフォルト試験点位置はメサ上25 mmである。
備考：
（1）単位：mm、
（2）ケーブルコネクタが表示されていない、
（3）完全3 D図面はダウンロードできます。
製品構成オプション
| プロダクトシリーズ | メササイズ | フィードバック |
| ZTT-V2 | -200 | -AS |
フィードバックオプション
| -AS | VPP 1伏正弦模拟量输入 |
