CFTCAシリーズ機械直線台

CFTCAシリーズ機械直線台紹介：

地心科学技術CFTCAシリーズリニアモータ機械台-XYはナノメートル級の位置決め精度のXY一体式精密位置決めプラットフォームであり、リニアモータ駆動、精密交差ローラガイドを採用し、非常に優れた動的性能と位置決め精度を備えており、空荷重終了周波数は100 Hz以上に達することができる。CFTCA-250 XY全ストローク平面度と直線度は±4μm未満、安全中空寸法は50 mm*50 mmに達することができることは光学測定測定測定測定分野の重要な部品である。

CFTCAシリーズプラットフォームは構造が精緻でコンパクトであるが、比較的強い駆動能力があり、上軸速度は1000 mm/s、空荷重加速度は1 gに達することができる。線形増幅器を配置し、防振実験室の環境下で、CFTCAシリーズの中空プラットフォームの在位安定性は3 nm、最小ステップ量は5 nm未満であることができ、その中の空特性のため、主に両面測定、生物サンプルの加工と観測、フィルムとインクの厚さ測定など、ナノレベルの位置決め精度と中空設計を必要とする工業分野と科学研究プロジェクトに応用されている。

CFTCAシリーズプラットフォームの位置安定性と最小ステップ試験

CFTCAシリーズ機械直線台備考：

（1）カスタム2 Dキャリブレーションを経た後、直交性は5 arc secに達することができ、

（2）適合-ASフィードバック、線形増幅器を配置する、

（3）空負荷、対応する電力の増幅器を配置する必要がある、

（4）デフォルト試験点位置はメサ上25 mm、単軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業点位置と関係がある、

（5）その他のストロークはカスタマイズ可能（例：ストローク350 mm*350 mm）。