ウェハ検出ステーション

ウェハ検出ステーションXYZT 4軸一体型精密位置決めプラットフォームであり、XYZは直線モータ駆動を採用し、精密交差ローラーガイドを選択し、非常に優れた性能と位置決め精度を備え、XY軸空荷重カットオフ周波数は120 Hz以上に達することができ、良好な速度安定性を備え、4軸重畳のメサ上で干渉計5 Kのサンプリング周波数を利用してCUBE-4等速段位置誤差をテストし、0.5 mm位置ごとの動的追従誤差STD標準差は50 nm未満である。Z軸空荷重カットオフ周波数は200 Hz以上に達することができる。Theta軸は回転直駆動モータを採用し、円形ガイドレールとラスターを備え、高回転速度と高精度を兼ね備えている。また、Theta軸は沈下隠し式の設計を採用しており、CUBE-4全体の高さを低くして、作業点の低下は実際の応用における位置決め精度の向上に有利である。

また、Z軸は30 ms内で100μmステップアップし、±50 nmまで調整することができる。CUBE-4は点から点までの静的精度を兼ね備えていると同時に、非常に突出した動的精度を備えており、動的誤差に厳しい生物またはウエハ検出走査応用に適応することができ、Z軸はセンサの作動距離の高さに基づいてリアルタイムで高速に調整することができ、顧客の運動制御の難題を解決することができる。

CUBE-4シリーズ4軸プラットフォームの動的性能試験

干渉計5 kサンプリング周波数動的試験：XY等速段位置追従誤差、0.5 mm STDごとの標準差は50 nm未満

CUBE-4シリーズ4軸プラットフォームの最小ステップ試験

Z軸ステップ100μm、30 ms内±50 nmに整列

ウェハ検出ステーション備考

（1）楔形ブロックに平行または垂直な方向測定、

（2）空荷試験、

（3）軸線方向に力を受ける、

（4）適合-ASフィードバック、線形増幅器を配置する、

（5）デフォルト試験点位置はメサ上25 mm、単軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業点位置と関係がある、

（6）その他のストロークはカスタマイズ可能である。