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メール
frank.yang@acuitik.com
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電話番号
13817395811
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アドレス
上海市浦東新区祥科路298号4階
製品カテゴリー
蘇州知識科学技術有限公司
概要
知識科技NS-30 UVは蘇州知識科技有限公司が生産した国産白色光干渉膜厚測定器であり、KLA白色光干渉膜厚測定器の代わりに、光学干渉原理を用いてナノメートルからミクロン級の膜厚の非接触測定を実現することができる。
製品詳細
NS-30 UVフィルム膜厚測定器は蘇州知識科技有限公司が生産した国産白色光干渉膜厚測定器であり、光学干渉原理を用いてナノメートルからミクロン級のフィルム厚さの非接触測定を実現した。
一、技術パラメータ：
1、NS-30 UVコアパラメータ
-波長範囲：190-1700 nm
-測定範囲：1 nm-250μm
-測定精度：1 nmまたは0.2%
-繰り返し精度：0.02 nm
-測定時間：1秒未満
-安定性：0.05 nm
-スポットサイズ：0.5 mm
2、同シリーズ型番仕様
二、動作原理
NS-30は垂直入射高安定広帯域光の光学干渉原理を採用し、ナノメートルからマイクロメートル級の透明または半透明膜層の厚さ、反射率および屈折率の測定を実現した。垂直入射した高安定広帯域光がサンプル表面に入射し、各フィルム層間に光学干渉現象が発生し、反射光はスペクトル分析及び回帰アルゴリズムを経てフィルム各層の厚さを算出することができる。
三、製品の特徴
1、核心優勢：
-ソフト・ハードウェアの国産化：100%国産自己研究、100%自主制御可能
−非接触測定：測定可能な硬質材料、軟質材料又は表面が損傷しやすいサンプル
-高精度高安定性：サブナノスケールの厚さ測定精度、静的安定性は0.02ナノメートルに達することができる
−多層膜測定能力：多層複合膜の各層の厚さを測定できる
-インテリジェント化アルゴリズム：コアアルゴリズム、ワンクリックで大スパン膜厚を測定する
2、機能の特色：
-サンプル自動測定、プラットフォームサイズ100 mm ~ 450 mmオプション
-ソフトウェアは必要に応じて測定ポイント分布を自動的に生成する
-厚さ/屈折率/反射率などの情報を含む2 Dおよび3 Dマッピング効果
-測定可能なフィルム応力と表面曲げ（Stress/Bow）
-測定速度：5点-5秒（200 mmウェハ）、25点-14秒
実測結果の表示
四、応用分野
1、NS-30薄膜厚測定器は多くのハイテク分野に広く応用されている：
-半導体製造：堆積/エッチング膜厚測定、CMPプロセス表面平坦度検出、エッチング防止ステップ高さ解析
-光起電力と表示パネル：太陽光コーティング膜厚、AMOLEDスクリーン微細構造、タッチパネル銅トレース測定
−光学めっき層：AR反射防止層、AGアンチグレアコーティング、フィルター、眼鏡等の光学素子の膜厚測定
-電子と材料科学：半導体チップ、液晶ディスプレイなどのデバイスの薄膜厚さ測定、材料表面応力分析
-生物医学：Paryleneパリン、ポリマー、バイオフィルム、医療機器などのフィルム材料の厚さ測定
2、メンテナンス：
-機械を清潔に保ち、非試験時間に防塵布を覆う
-電磁磁場妨害機器の動作を回避する
-定期的なキャリブレーションとメンテナンス
NS-30シリーズはデスクトップ式自動膜厚測定分析システムとして、膜厚測定に加えて自動測定サンプル載置台を繰り返し、設置されたポイントを自動測定することができ、さらに2 Dと3 Dの資料分布図を生成し、特にウエハ膜厚測定などの精密な応用シーンに適している。
