超高分解能電界放出走査電子顕微鏡Regulus 8100

「Regulusシリーズ」は、日立ハイテクノロジーズのFE-SEMの新ブランドで、SU 8010の後継機として開発された「Regulus 8100」およびSU 8200シリーズのアップグレード「Regulus 8220」「Regulus 8230」「Regulus 8240」の4機種で、いずれも解像度と操作性の強化を実現している。

走査電子顕微鏡（SEM）はナノテクノロジー、半導体？電子業界、ライフサイエンス、材料科学などの分野の材料構造観察。近年、次世代の電子デバイス応用で広く期待されている新型炭素材料、高分子材料、複合材料などの研究は、先進的な科学技術の中堅技術として、世界中で人気を集めている。走査電子顕微鏡はこれらの材料の観察に広く使われているのだろうか。評価するが、超高解像度だけでは十分ではない。低加速電圧下での表面微細構造の観察と高感度の元素分析も求められる。そのほか、長期的な研究過程において電子顕微鏡の性能の持続的な安定性と信頼性を追求している。

今回発表された新ブランド「Regulusシリーズ」の電子光学系は、着陸電圧の1 kV時の解像度が先代モデルより約20%向上するよう最適化処理を行った。「Regulus 8220/8230/8240」は0.9 nmに達し、「Regulus 8100」は1.1 nmの解像度である。また、低加速電圧での高分解能観察に最適な冷間電子銃は、サンプルの詳細を増幅し、高品質の画像を得ることができる。最大倍率もこれまでの100万倍から200万倍に引き上げられた。
このほか、異なるサンプルのテストによりよく対応し、同時に高性能を発揮するために、信号検出システムの操作補助機能、メンテナンス補助機能など、ユーザー補助機能を強化した。

主な特徴

1. 色差が極めて小さい低加速電圧高分解能観察に適した冷間電子銃を搭載

2. 前世代モデルと比べて解像度が約20%向上
   （Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV、Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

3. 最大倍率を従来の100万倍から200万倍に引き上げ^*1

4. ユーザー補助機能は、ユーザーが機器の高性能を完全に発揮するのを助ける

主なパラメータ

*1 Regulus 8240/8230/8220のみ

*2減速モード観察

＊3 127 mm×95 mm視野の画面倍率

*4 5軸モータ台がオプション