SU1510 の

標準仕様

(1) 基本仕様

SE画像解像度 : 30 kVで3.0 nm（x100,000、WD = 5 mm、高真空モード）
3 kVで15 nm（x30,000、WD = 5 mm、高真空モード）

BSE画像解像度 : 30 kVで4.0 nm （x60,000、WD = 5 mm、低真空モードで6 Pa）

拡大 : ´5–´300,000
（最高および最低の拡大は加速電圧、WDandスキャン速度に依存します）

(2) 電子光学

電子ビームソース : プリセンターカートリッジフィラメント（タングステンヘアピンフィラメント）

加速電圧 0.3kV～30kV

銃バイアス:象限バイアス

ビームアラインメント : 2段電磁偏差（画像が凍結したときビームブランキングとして動作）

レンズシステム:3段階電磁レンズ減少光学

Stigmator:X-Y八極電磁性

スキャンコイル : 2段電磁偏差

対象的な移動可能な開口: クリックストップ設計の4つの穴 (直径30,50,80,150 µm)

イメージシフト：±50 WD = 15 mmでµm以上

分析位置 WD = 15 mm、TOA = 35°

検出器:高真空モードのSE検出器
高真空モードと低真空モードのBSE検出器

(3) サンプルステージ

(4) 避難システム

避難制御 : モーターバルブ付きの完全自動シーケンス

真空ゲージ : ピラニゲージ

究極の真空 ： 1.5 x 10^-3パ

調節可能な圧力範囲：6～270Pa（内部真空モードのみ）

真空ポンプ:ターボ分子ポンプ（TMP） 210l/s,´1 オイルロータリーポンプ 135 l/min.（50Hz）、162 l/min.（60Hz）、´1

(5) 表示

制御：グラフィックユーザーインターフェース（GUI）、英語メニュー

OS:マイクロソフト^®ウィンドウズ^®XP プロフェッショナル

操作:マウス/キーボード、回転ノブセット（オプション）

モニター:19タイプLCD（1280）´デスクトップ上1024ピクセル)

画像表示モード フルスクリーンディスプレイ (1280"960ピクセル)
標準ディスプレイ (640)480ピクセル)
デュアル画像ディスプレイ (640 ´480 ピクセル)´2）、信号の混合

スキャンモード テレビ/FAST

: 遅い

エリア減少（320）´240ピクセル)

:波形

:スプリットスクリーン/デュアル拡大

高解像度イメージキャプチャー（最大2560'1920 ピクセル)

：フレーム統合画像キャプチャー（最大2560'1920 ピクセル)

スキャン速度 テレビスキャン
(640´480ピクセル、25/30*フレーム/秒。）

:FASTスキャン
（フルスクリーン表示：6.3/7.5*フレーム/秒）

:スロースキャン
（フルスクリーン表示: 1、4、20/16、40/32、80/64* sec./frame）
(640´480ピクセル: 0.5、2、10/8、20/16、40/32*sec./フレーム）

: 減少したエリアスキャン
(320´240ピクセル: 25/30,3/4* フレーム/秒。）
* 電源の頻度: 50/60Hz

自動調整機能

:自動明るさ及び対照（ABCC）

:自動焦点制御 (AFC)

:自動スティグマーおよび焦点（ASF）

:自動フィラメント （ AFS）自自自動自自自動自自自動:

自動ビームアライナメント（ABA）

:自動ビーム設定（ABS）
（AFS + ABA + 自動銃偏差）

信号および画像処理機能

平均（テレビ、FASTスキャン）によるS/N比の改善

ピクセル統合によるS/N比の改善

フレーム統合によるS/N比の改善
（統合の最大フレーム：1024）（TV、FAST、SLOW1）

:複合二色画像表示
（二重画像表示モード/画像を保存するリアルタイム）

: 偽カラーディスプレイ（画像を保存）

:リアルタイム画像処理
（逆対照、ガンマ制御）

:リアルタイムヒストグラム表示

:画像を保存するための画像処理
（逆コントラスト、ガンマ制御、滑らか化、エッジ強化など）

画像保存 画像の保存サイズ
(640´480ピクセル、1280ピクセル960 ピクセル, 25601920 ピクセル、5120´3840ピクセル)

画像ファイルフォーマット：BMP、TIFF、JPEG

画像の印刷 : 標準の自由なレイアウト印刷機能

画像保存の管理

標準のSEMデータマネージャー（画像データベース）
（データ管理、サンブネイル表示、様々な画像処理機能）

その他の機能 画像が凍結したときのビームブランキング。

:ラスター回転

:ダイナミックフォーカス/傾斜補償

:データ表示（画像番号、加速電圧、拡大、ミクロンマーカー、単位、WD、日付、時間、圧力、検出器）
画像付きと画像なしの間で選択可能なデータ表示

【データ入力】図（円形、長方形、矢印、測定線）、文字］

:簡単な測定機能（2つのポイントおよび矢印の測定ラインの間の距離）

:3Dアニメーションメンテナンスガイド

画像を石英イメージングPCIへの転送

X線モード機能 : X線速度計（0 - +10V） andMapping（TTL）のための入力信号端末

：スキャンモード（ライン分析、スポット分析、平均浓度分析）

:DBCインターフェイス（オプション）

外部機器の接続ポート

:USBインターフェース

:ネットワークインターフェイス（イーサネット）、設定はオプションです。

VTR信号:NTSCブラックホワイト信号のみ（BNC）、標準表示モードのみの画像。

(6) 安全装置

:停電、漏れ電流および真空故障から保護されます。

（7） Dimensionand重量