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昆山瑞塞奇精密機器有限公司

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紫外線オゾンクリーナー

ネゴシエーション可能更新12/21

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概要

2波長のオゾンと紫外線の二重効果による有機汚染の除去UVオゾンクリーナー※無損害のドライクリーニング方法は、2波長のオゾンと紫外線の二重効果による有機汚染の除去を可能にします。

製品詳細

オゾンと紫外線の二重効果による有機汚染の除去
紫外線オゾンクリーナー

※無損なドライクリーニング方法では、基板に粘着する有機汚染物を光化学酸化解析プロセスで除去できます。

製品詳細

利点

【紫外線オゾン清潔方法の利点】

	●	超音波クリーニングだけで除去できない基板上の有機汚染物を簡単に除去します。
	●	湿洗に使用される有機溶媒の除去。
	●	基板表面を損傷させずに有機汚染物を取り除く可能性。
	●	L-Bフィルムの蓄積が容易になります。（累積率は大幅に改善されています。
	●	tmospheric pressureで起こり得る。真空装置は必要ありません。

【フィルゲンの紫外線オゾンクリーナーの利点】

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スペースを節約するコンパクトなデスクトップタイプ。

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自動ガス切り替え
酸素パイプと酸素パイプを接続し,各ガスの流量を事前に設定することで,デバイスは自動的に次の手順を実行できます.
酸素紹介→ UVクリーニング→
※酸素はオゾン生成の効率を高め、・・・・・・・オゾンを・・・ ※ ※酸素・・酸素・・・

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（ストレートチューブランプ装備モデル - UV253V8）
オゾン漏れはないので、防空構造がある。
デバイスチャンバーは,0.02 MPaの圧力を維持できる防空構造です.
ガスシリンダーに接続すると,デバイスは外部空気の流入なしに自動的に次のステップを実行できます.
酸素紹介→ UVクリーニング→
※オゾン漏れは装置自体の部品の寿命を短縮し、化学や生物学実験のデータに影響を与え、深刻な問題を引き起こす可能性があります。
（UV253V8以外のモデル）
オゾン分解装置に接続するとオゾン漏れはありません。
ガスシリンダーに接続すると,デバイスは外部空気の入流なしに自動的に次のステップを実行できます.
酸素紹介→ UVクリーニング→

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オズオン検出システムとドアロックメカニズムは,オズオンまたは紫外線漏れにつながる人間の間違いを避けるために利用できます.
（オゾン検出システム）
オゾン分解装置を使用した後またはオオオオゾンをオオゾン分解装置またはオオゾンをオオーソンのオオーソン分解解解解解解体装置を使用した後,クリーニングルームのオーソンドアはオゾンの安全基準を満たしていることを確認した後に開きます。
（ドアロックメカニズム）
専用のロックメカニズムは,紫外線ランプがオンである間 (オゾン生成中) ドアを開くことを防ぐ.
（オゾン検出システムとドアロックメカニズムの相互ロック）
オプションのオゾン検出システムとドアロックメカニズムを装備し,相互にロックすることで,クリーニングルームのオゾン浓度が安全基準を満たさない限り,ドアは開けられません.

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適用に応じて,2つの異なるタイプのUVランプ (直管UVランプと高密度高電力グリッドUVランプ) を選択できます.

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上記の2種類の低圧水銀ランプには,融合石英仕様と合成石英仕様が利用できます.アプリケーションに応じて選択してください。
装置の他の部品を変更せずに後でランプを交換することも可能です。
※合成石英仕様は、融合石英仕様よりも184.9nm波長の光をより良く（約1.7倍）放出し、クリーニング効率を劇的に向上させることができます。

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カウントダウン機能付きデジタルタイマー

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オプションオゾンキラー（オゾンドキュポジング装置）装備することはオゾンを取り除くことができ、排出し、労働環境をさらに安全にします。

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すべてのナイロンチューブとジョイントコネクタがワンタッチジョイントを使用しているため,簡単な接続です.

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ナイロンで作られ、自由に切れることができる接続管の柔軟な長さ。

紫外線オゾンクリーニングの原理
UV Ozone Cleaner

紫外線オゾンクリーニングは,短波長紫外線を使用する光敏酸化プロセスです.このプロセスでは,光抵抗,樹脂,シリコンオイル,フラックスなどの有機汚染物は,短波長の紫外線を吸収することによって分解されます.
酸素分子は184.9nmの波長でオゾンになり、253.7nmの波長で分解され、同時に反応性酸素種を生成する。
253.7nmの紫外線のほとんどは炭素とオゾンによって吸収されます。
分解された汚染物の産物は、反応性酸素種と反応し、より簡単な挥発性分子（例えばCO）を形成します。₂ H₂O等）、その後基板表面から分離します。
184.9nmと253.7nmの波長の紫外線の両方が存在すると、酸素原子が生成され続け、オゾンに変化し、オゾンは分解されます。

UV Ozone Cleaner

184.9 nmの紫外線をモール当たりのエネルギーに変換すると、647 KJ/molです。
253.7 nm UV光をモール当たりのエネルギーに変換すると、472 KJ/molです。
各種有機物分子の結合エネルギーは右の表に記載されています。

バインディング	結合エネルギー（KJ/mol）	バインディング	結合エネルギー（KJ/mol）
Ｏ－Ｏ	138.9	Ｃ＝Ｃ	607
Ｏ＝Ｏ	490.4	Ｃ≡Ｃ	828
Ｏ－Ｈ	462.8	Ｃ＝Ｏ	724
Ｃ－Ｃ	347.7	Ｃ－Ｃｌ	328.4
Ｃ－Ｈ	413.4	Ｈ－Ｆ	593.2
Ｃ－Ｎ	291.6	Ｃ－Ｆ	441.0
Ｃ≡Ｎ	791	Ｈ－Ｃｌ	431.8
Ｃ－Ｏ	351.5	Ｎ－Ｈ	309.8

アプリケーション
UV Ozone Cleaner

◆薄膜コーティングの前処理

	有機ELのITOフィルムクリーニング
	LBフィルム蓄積の前の基板のクリーニング
	Photoresistクリーニング
	クリーニングシリコンウェーファー、レンズ、鏡、ソーラーパネル、冷クリ冷クリーニング鋼、クリーニングクリーニングシリコンウェーファー
	ハイブリッド回路およびフラットパネルLCDのクリーニング
	コーティングのプラスチックへの粘着性の改善
	浸泡法によるフィルム形成前の基板清潔プロセス

◆電子显微鏡関連アプリケーション

	SEM および/または TEM サンプルの汚染物の除去
	ダイヤモンドナイフやガラスナイフの湿性と親和性の向上
	サポートフィルムの湿性と亲水性の改善

◆Ohers

	バイオラブウェアの消毒および洗ババイオラブウェアの洗バババイオラブウェアの消毒
	AFM キャンティリバー
	PDMS表面修正
	超高真空のための密封シールのクリーニング
	フロックスの削除
	テフロン、ビトン、その他の有機材料のエッチング
	ガラス脱ガス
	ウェーファーテープの取り外し
	テストされたウェーファーからのインク削除
	アニーリング・オブ・タ₂O型₅ 介電フィルム

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