第三者機器校正計量センター供給検査校正サービス

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以下はレーザー干渉計の校正の一般的な手順である：

キャリブレーション前準備

•環境条件制御：温度制御は20℃±2℃の範囲内で、しかも校正過程中の変動が小さく、エアコン或いは恒温設備を使用することができる、湿度は40%〜60%に維持し、除湿または換気設備により調整する。機器を防振プラットフォーム上に置き、プラットフォームは振動源から水平に離れなければならない。

•計器予熱：計器説明書の要求に従って予熱を行い、通常20分以上電源を入れて予熱し、計器を安定した動作状態にする必要がある。

•光学素子のクリーニング：無水エタノールとレンズペーパーでレーザー送信機、受信機の光学窓とミラー表面を軽く拭く。

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キャリブレーション項目と方法

•レーザー波長の較正：高精度ブロックなど、既知の長さのエタロンまたは基準スケールを用いて参照する。計器を起動し、レーザーを標準器具に通過させ、レーザーの標準長さにおける干渉縞数を測定し、複数のデータから実際の波長を計算する。理論値からずれている場合は、調整装置により調整する。

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•直線度較正：測定された設備を直線ガイドレールに取り付け、反射ミラーを末端に固定し、レーザービームがガイドレールと平行になるようにレーザーエミッタを調整する。被測定装置を移動し、反射鏡はガイドレールに沿って往復運動し、干渉計は干渉縞データを収集し、変位データに変換し、分析して直線度誤差を得、超範囲は装置の設置位置または機械構造を調整する。

•光路校正：レーザー経路を検査し、干渉ミラーとミラーの取り付けが正確で、正確であることを確保する。関連部品を調整することによって、レーザービームを正確に伝播と反射させ、光路偏差が許容範囲内であることを保証することができる。一部のレーザ干渉計については、特定のステップに従って光路を調整しなければならない。例えば、米国の光動レーザ干渉計は、まず近後遠に調整し、反射光線を再結合して帰光孔に入れ、光強度ランプが完全に点灯することを保証しなければならない。

キャリブレーション後処理

校正完了後、校正記録を記入し、内容は校正日、人員、計器型番及び番号、校正項目、結果などを含む。校正結果に基づいて、計器に相応のラベルを貼り、合格すれば合格ラベルを貼り、不合格なら修理して再校正する必要がある。