TMCクリーンルーム試験台

TMCクリーンルームしけんだい63-635

オールステンレス鋼TMCクラスワン™ワークステーションは高性能空気圧防振テーブルであり、地面に設置するように設計され、最大のクリーンルーム互換性を実現することができる。防振性能は同じGimbal Piston™素子は提供され、光学プラットフォーム、電子顕微鏡、精密天秤、走査トンネル顕微鏡に*対レン比の防振性能を提供することもできる。

TMCクリーンルームしけんだい63-635

クラスワンワークステーションは濡れたアルコールの無絨毯で拭き取り、出荷前にプラスチックで二重に包んだ。

Gimbal Piston防振器

すべてCleanBenchテーブルはすべてTMCのGimbal Piston空気防振器を標準配置として採用している。並列テストでは、Gimbal Pistonのパフォーマンスは他のものよりも優れています。空気防振器すべての軸において優れた低周波防振性能を持ち、非常に低い入力励振レベルでも性能仕様を維持することができます。独自の制振技術により、Gimbal Pistonは上下軽量のペイロードを安定させ、防振テーブルの干渉を迅速に除去することができる。

長所

から2 Hzからの垂直および水平防振

に10 Hzで振動が95%以上減少

ほとんど摩擦がなく、転がり摩擦の静摩擦への移行を回避

ユニバーサルジョイントとして機能することにより水平変位を調整する

*低入力レベルでも、Gimbal Piston®空気防振器はまた、様々な方向に優れた防振性能を提供することができる。それはわずかな減衰特性を持ち、典型的な低振幅環境の地面振動に対して高い応答性を持ち、深刻な過渡的干渉（例えば突然の荷重変化や天板衝突）に対して、非常に良い制振効果を実現することができる。その結果、Gimbal Piston防振器は*越の防振効果を提供でき、ほとんど数秒以内に深刻な干渉を除去できることが分かった。比較的高い重心を持つ防振システムを安定させることもでき、防振効果には影響しません。

低振幅入力応答

有効な防振器を設計する際に遭遇する最大の課題は、周囲の建物の床振動の典型的な低振動振幅入力の下で良好な性能を維持することである。防振器仕様は、通常、防振器を振幅入力レベルが非常に高い「振動台」に配置した測定に基づいています。この入力振幅が約ミリメートルの試験は、結果が実際の使用中の性能を反映できないため、性能の推定が現実的ではなく、誤導性をもたらすことがあります。

Gimbal Piston防振器の設計*の特徴は、最も静かでリアルな地上環境でも規定された共振周波数と高いレベルの減衰量を維持できることです。この性能は、摩擦がほとんどないように設計されているので、転がり摩擦から静摩擦への移行を回避することができるので、このような低い振幅と線形関係にある。

典型的な地面振動レベルで試験した他のすべてのシステムは、主張する共振周波数よりも高いか、防振器ホルダを介した伝送が大幅に増加した。

私たちは、自分のテストと多くの使用済みデバイスで繰り返し観察されているため、より大きな振幅とより高い周波数でより良いパフォーマンスを実現しやすいため、低入力レベルでのパフォーマンス仕様の重要性を強調しています。

水平および垂直入力

我々の革新的な防振器はユニバーサルジョイントとして機能し、薄肉転動シールフィルムを水平変位に適応させることができる。Gimbal Piston防振器はケーブル式振り子サスペンションを使用せず、プライマリピストン井戸内に下方に伸びた剛性ロッドを持つ個別の天板に荷重を載せた。ロッドの底部には、硬く平坦な台座に支持された球状の端部がある。ボールはシャーシ上で非常にわずかに揺動する（滑りや転がりがない）ため、固有のフレキシブルカップリングは防振器内で水平に曲げることができる。入力変位が微小でもインチ以下水平であり、静摩擦は転がり摩擦とほぼ同じであるため、この方法も非常に有効である。水平運動は通常の垂直ダイヤフラム曲げに変換するだけだが、いいえ同相：ピストンの一方を上に、もう一方を下にしてユニバーサルジョイント式に動く。

他のタイプの防振器の限界

厚肉ゴムフィルム。多くの商用防振器は、ピストンに安価な厚肉ゴムフィルムを用いて垂直防振を実現している。これらの要素の相対的ないいえ柔軟性、低振幅防振性能はあまり理想的ではありません。このシステムは手で感じると「柔らかい」が、典型的な低水平地面振動に対しては、ゴムはフレキシブル防振器ではなく剛性カップリングのように見える。

空気圧防振器（受動）を密封する。密封空気防振器は、負荷の変化に応じて自動的に調整されません。このようなシステムの主な限界は、それらが硬すぎて効果的に防振できないことである。たとえば、真の1.5 Hz共振周波数の受動防振器は、負荷、温度、または圧力がわずかに変化すると数インチ垂直にドリフトし、絶えず手動で調整する必要があります。したがって、実際の封止防振器はこの設計の低共振周波数ではない。

軸受スライド。理論的には、軸受スライドは、その脱結合効果によって水平防振を実現することができる。実際、このような設計を低振幅で動作させるには、公差が小さく、精密に研削された硬化軸受が必要です。既存の商用バージョンでは、低振幅での静摩擦力を克服して軸受を転がすことはできません。さらに、これらのすべてのシステムは最初は位置合わせが難しく、キャリブレーション範囲から外れやすい。

自作組立。 自作防振システム-通常はゴムマット、テニスまたはエアバッグに置かれた鋼板または花崗岩板であり、干渉振動周波数が高く、最小防振が必要な場合にのみ動作する。すべての防振器は減衰ばねに質量を置く原理を使用しているが、それらの性能は主にばね剛性によって区別される：ばねが硬いほど共振周波数が高くなる。そのため、自家製ソリューションは高い共振周波数に制限されています。

ある1.5 Hz垂直共振周波数のGimbal Piston™防振器は2 Hzで防振を開始し、10 Hzで振動を95%以上低減することができる。7 Hz共振周波数を有する鋼板下のテニスボールは10 Hz以上で防振を開始し、30 Hzで振動を90%低減する。しかし、ほとんどの建物の床面は5 ~ 30 Hzの間で最も高い振動変位を示しているため、テニスボールやラバーマットは5 ~ 10 Hzの間の環境周波数を拡大することで実際に問題が深刻になる。

仕様

注文書

帯Gimbal Piston防振クラスワンワークステーション

付属品-すべてのテーブルサイズ

付属品-寸法による

*棚を固定する際に必要