TMCアクティブエアダンパー

交渉可能更新01/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

TMC能動空気消振器、Electro-Damp半導体製造用途におけるスループット、解像度、収量の向上に特化した初の商用アクティブ防振システムである。Electro-Damp IIはオリジナルシステムの*完全な再設計であり、モジュール化、デジタル制御、フィードフォワード、ハイ/ハイギャップアクチュエータ、およびマイクロリソグラフィ、検出、計量ツールなどのOEMアプリケーションに特化した複数のデジタルユーザーインタフェースを追加しました。

製品詳細

TMCアクティブエアダンピング器電気ダンプII

Electro-Damp®半導体製造用途におけるスループット、解像度、収量の向上に特化した初の商用アクティブ防振システムである。Electro-Damp IIはオリジナルシステムの*完全な再設計であり、モジュール化、デジタル制御、フィードフォワード、ハイ/ハイギャップアクチュエータ、およびマイクロリソグラフィ、検出、計量ツールなどのOEMアプリケーションに特化した複数のデジタルユーザーインタフェースを追加しました。

半導体製造ツールはその防振システムに対して矛盾する要求を提出した。地上騒音に対応するためには、システムは地上振動を効果的にろ過し、防振面に到達しないように十分に柔軟でなければならない。同時に、システムは、テーブルの運動によって防振面に最小変位が生じ、迅速に安定するために、テーブルの力に対応するために十分に硬い必要があります。

TMC主动空气消振器

慣性、能動フィードバック減衰を採用するほか、Electro−Damp IIはまた、情報フィードフォワードを使用してシステム応答をさらに改善する。フィードフォワードは、ワークステーションコントローラからワークステーションの位置と加速度に関する情報を取得し、これらのデータを処理してペイロードに力駆動を提供することで、ワークステーションによるペイロード運動を大幅に削減します。システムは、バイポーラアナログ信号としてフィードフォワード情報をデジタル的に読み出したり、直交エンコーダの出力を読み出したりすることができます。DC-2000デジタルコントローラは、ワークベンチテストモードを使用してフィードフォワードに必要なパラメータを自動的に調整することもできます。これにより、初期インストール時やペイロードを変更した後に迅速かつ簡単に設定することができます。

Electro-Damp IIのモジュラー設計により、システムは電子サーボバルブと単独で使用することができます（重型、低加速度用途、例えばCMM）、電磁駆動とだけ使用することができます（高加速度の軽量テーブルを使用することに適しています）、または両者と組み合わせて使用することができます（*過酷な用途に適しています）。

TMCアクティブエアダンピング器電気ダンプII特徴

●六自由度能動制振システム

●非接触電子高さ制御

●デジタルコントローラ

・フィードフォワード入力によるテーブルによるペイロード運動の補正

・高力電磁アクチュエータを単独で提供してもよく、またはシステムに統合してもよい

・ペイロード運動とテーブルによる運動の安定時間の低減

●スループット、解像度、収量の向上

・モジュラー設計により、ユーザー*は完全なユニットまたはコンポーネントを指定し、OEM統合

●設定を減らすためにフィードフォワードパラメータを自動的に調整する

仕様

汎用
あんていじかん	0.2秒**
アクティブ自由度	6
高度制御精度	< 10 µm でセンサーSD>
リニアアクチュエータ（水平および垂直）
ちょくりゅうていこう	5 Ω の
ちからていすう	最大12ポンド/アンペア｜55牛/アンペア
さいだいれんぞくりょく	25ポンド｜110牛
ピーク力@7 A	87ポンド｜385牛
電気時定数	2.6ミリ秒
スケジュール	0.25インチ｜6.4 mm
よこほうこうすきま	0.09インチ｜2.3 mm
スプリアス場	< 1 G @ 2in.d>
寸法（幅x奥行きx高さ）	2.8 x 6.8 x 4.5インチ 71 x 173 x 114ミリメートル
バルブ（アクティブのみ）
バルブタイプ	比例E/Vサーボ
制御タイプ	圧力または気流
さいだいりゅうりょう	1.5 SCFM
ガス消費量（防振器4個）	< 2 SCFM（ステージモーションなし）d>
-3 dB応答	≦10 Hz（標準）。
高さ制御センサ
入力	非接触誘導（渦）
電子構成	デュアルワイヤNAMUR 三線30または18 mm直径
範囲	30ミリ電線用の公称15ミリ 18ミリ電線用公称6ミリ
解像度	<1 µmd>
パッシブエアマウント
標準荷重能力	1000、2500、3300、5700ポンド@80 PSI
減衰(10:1)	< 3SD>
DC-2020デジタルコントローラ
プロセッサー	デュアルコア： DSP @ 150 MHz および Cortex M3 @ 75 MHz
アナログI/O	32/24チャネル（16/16ビット）
サンプリングレート	公称値を5 kHzとする
フロントパネル	電源スイッチ 3色ステータスLED イーサネットRJ-45 MicroSDカードスロット 2つのBNCソケット（それぞれ入力端子または出力端子として使用可能） USB 2.0ポート×2（B型とMicro B型） FWアップグレードボタン
背面パネル	電源入力アナログI/OソケットエアポートイーサネットRJ-45 USB 2.0 x 1 RS-232 DB 9 リレーソケット
ユーザーインタフェース	USBまたはイーサネット経由のGUI
電源	90-240 VAC，50-60 Hz，最大100 W
寸法（幅x奥行きx高さ）	16.8 x 9.0 x 1.75インチ 427 x 229 x 45 mm 標準RETMAユニットx 1
パワーアンプ
通道	8
チャネルあたりの最大電流	7 A
入力	線形
ピーク電力	合計700 W
冷却	Environment
保護	リセット可能ヒューズ、電子熱保護、過電流、アンダ圧
操作	リモートまたは手動
サイズ	1 RETMAラックユニット高さx 15インチ（381 mm）奥行き

アプリケーションの説明

エレクトロダムプ®

にプレシテックのフリーフォームL超精密工作機械にPEPS II-VXを用いて3軸（XYZ）測定を行う

TMC主动空气消振器

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