TMC能動空気防振レベリングシステム

交渉可能更新01/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

TMC能動空気防振レベリングシステム、PEPS IIはTMCの*利PEPS（精密電子定位システム）に基づいて構築され、改善された。新しいデジタルコントローラを追加することで、PEPS IIはより使いやすくなり、より多くの機能を提供し、改善されたユーザーインタフェースもあります。

製品詳細

TMC能動空気防振レベリングシステムPEPS II

PEPS IIはTMCの*利PEPS（精密電子定位システム）に基づいて構築され、改良されている。新しいデジタルコントローラを追加することで、PEPS IIはより使いやすくなり、より多くの機能を提供し、改善されたユーザーインタフェースもあります。PEPS IIはTMC空気圧防振システムに用いられるデジタル非接触式高度制御システムである。このようなシステムは、一般に、機械高さバルブと機械高さセンシングリンクとを含む。その応用には、安定時間の改善と生産性の向上を必要とする半導体製造装置、最適なノイズ性能とプラットフォームの安定性を必要とする精密な実験室環境が含まれる。

TMC主动空气隔振调平系统

TMC能動空気防振レベリングシステムPEPS II特徴

●デジタル制御、ユーザーフレンドリーLCDインタフェース

●用Gimbal Piston、CSP及びMaxDamp防振システムの非接触電動空気圧高さ制御

●Z軸位置再現性：10ミクロン

●従来の機械高さ制御システムのレバー接触点を排除することで防振効果を改善

●空気圧フィードフォワード機能を最大限に低減X-Yプラットフォームの動きに対するZ軸の反応

・急速に安定するように調整可能X-Yプラットフォームによる動き

●オプションの「VX」機能は慣性センサを集積し、能動減衰垂直振動遮断器共振に用いられる

●「ソフトドッキングステーション」と互換性があります。モーションインストールなしでロード可能/ウェハのアンインストール

・適切な電子バルブ。「スイッチ」または従来の電子弁はパルスノイズを発生しない

●排気管は排気ガスの洗浄処理に用いられる

●論理ドッキング制御と状態

仕様

物理サイズ	PEPS IIコントローラ 1.72インチ（43.7 mm）高さx 8.0インチ（203 mm）幅x 9.4インチ（240 mm）奥行き
重量	PEPS IIコントローラ：約3.0ポンド（1.2 kg）
環境（EN 61010-1：1993参照、 EN 61010-1/A2：1995）	室内でのみ使用可能、最大2,000 m高度（6,560フィート）最大許容温度範囲：5°Cから35°C 最大許容湿度：31°C以下で80%、40°Cで50%相対湿度まで直線的に降下主電源電圧許容値：85 VAC-240 VAC 過電圧種別：2 汚染レベル（IEC 664）：2 通風要求：両側隙間25 mm、上下隙間0 mm
電源要件	電源入力電圧範囲：90-230 VAC 入力周波数範囲：50-60 Hz
PEPSIIユーザーインタフェース（フロントパネル）	電源スイッチ 4つのメニューボタン LCD表示20 x 2文字診断ソケット×2（BNCタイプ） 3色ステータスLED USBポート
PEPSIIインタフェース（背面パネル）	EMIフィルタ付きAC電源入力 1/4インチ外径ダクト用の1つの空気入力カードポート 1/4インチ外径ダクト用の1つの空気出力（排気）マウントポート 1/4インチ外径ダクト用の4つのエアマウントポート（防振器ごとに1つ） DB-25オス入力端子-出力端子とフィードフォワードソケット Phoenix 0.2インチピッチ6ピン緑コネクタ（垂直近接センサ）x 1 Phoenix 3.5 mmピッチ6ピンブラックコネクタx 1（水平近接センサ）アースネジポスト（＃10-32ネジ） DB-25 Fソケット：デジタル入力端子1個、地震検出器センサインタフェース3個（「-VX」オプション） DB-25 Fソケット：デジタル入力端子1個、電流出力近接センサ3個（オプション）
PEPS II パフォーマンス仕様	アナログ入力（単極）：8 x 12ビット（16ビット使用オーバーサンプリング）、0...3.0 Vフルレンジアナログ入力（フィードフォワード）：5 x 12ビット（16ビット使用オーバーサンプリング），±9 Vフルレンジアナログ入力（単極）保護：＋5ボルト、-0.5 Vクリッピングアナログ入力（フィードフォワード）保護：±15ボルトリミットアナログ出力：4 x 12ビット（16ビット使用サンプリング）、0...3.0 Vフルレンジアナログ出力（オプション）：8 x 16ビット、0...3.0 Vフルレンジアナログ出力保護：無限短絡保護、+5ボルトリミットデジタル入力電圧定格値：0...+3.3 V，+5 V許容値（+5ボルトリミット）デジタル出力定格：0... + 3.3 V，最大20 mA デジタルI/O保護：+5ボルト、-0.5ボルトリミット外部使用可能電源：+5 VDC、最大2.0 A、+15 VDC、最大1.0 A（最大20 W）通信ポート：USB、PC上でRS-232と表示プロセッサー：ARM 7 TDMI/41.78 MHz 制御回路率：100 Hz-2.0 KHz 近接センサ：3つの垂直、（3つの水平オプション）渦、NAMUR 0-20 mA出力速度センサ-地震検出器(「-VX」オプション):垂直3個、電流出力
空力仕様	長期高度安定性：±50ミクロン長期傾斜安定性：±50マイクロラジアンサーボ弁：4 x双方向可変オリフィス比例サーボ弁バルブ技術：純甲類最大入力圧力：120 PSIまたは8.3バールまたは830 KPa 公称ガス消費量：60標準リットル/分（2標準立方フィート/分）空気の要求：清潔で乾燥した空気、20ミクロン以上まで濾過する故障安全：防振器は電源故障或いは停電時に空気を抜くエアジョイント：1/4インチ外径ホース用ワンタッチクイックジョイント

性能

TMC主动空气隔振调平系统

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