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アドレス
上海市長寧区延安中路188号2902室
製品カテゴリー
上海茂碩機械設備有限公司
概要
スイスのVAT真空バルブ-真空多弁装置$r$n組み合わせバルブとバルブセットは、1つのユニットに異なるバルブ機能の組み合わせを提供している。その利点は：シールリングの数を減少させ、それによって潜在的な漏れ点を減少させ、非常にコンパクトで、スペースを節約する設計であり、単一バルブの組み立てに比べて、より速く、より組み立てやすい。
製品詳細
スイスVATは真空バルブメーカーで、高精度真空バルブの設計と生産に専念し、製品は半導体、光起電力、平板表示、科学研究などの分野に広く応用され、高信頼性、長寿命と密封性能で知られている。
1.会社の背景
スイスVATは真空バルブメーカーで、高精度真空バルブの設計と生産に専念し、製品は半導体、光起電力、平板表示、科学研究などの分野に広く応用され、高信頼性、長寿命と密封性能で知られている。
2.コア製品シリーズ
（1）シングルバルブ製品
シリーズモデル：
アングルバルブ（VAT 54シリーズなど）：高真空（HV）と超高真空（UHV）環境に適している。
スルーバルブ
ゲートバルブ（VAT 19シリーズなど）：金属密封、耐高温（450°Cに達することができる）、半導体プロセスチャンバに使用する。
ちょうせつべん：プロセス圧力調整用にガス流量を正確に制御する。
技術仕様：
漏れ率：<10µmbar・l/s（金属シール）。
材質：ステンレス鋼、アルミニウム合金、表面ニッケルめっき或いは電解研磨。
駆動方式：空気圧、電動または手動。
（2）マルチバルブ装置（Multi-Valve Systems）
設計の特徴：
複数のバルブ（例えば隔離バルブ、傍抽気バルブ、主ポンプバルブ）を単一モジュールに集積し、真空システムの配置を簡略化する。
モジュラー設計、カスタマイズされた組み合わせをサポート（VAT Lockfastなど）®
高速応答（スイッチング時間を50 msまで下げることができる）。
典型的な用途：
半導体エッチング／堆積装置の多チャンバ分離。
光起電力めっきシステムの真空経路切り替え。
3.コア技術の優位性
シール技術：
金属シール（非弾性材料）は高温及び腐食性環境に適している。
フッ素ゴムなどの弾性シールは、経済的な用途に使用される。
駆動システム：
空気圧アクチュエータには防爆設計が標準装備されており、電動アクチュエータはPLC制御をサポートしている。
：
PROFINET、EtherCATなどの工業プロトコルをサポートし、リアルタイムでバルブ状態を監視する。
4.典型的な応用分野
半導体製造：ウェハ伝送チャンバ、エッチング装置。
太陽光発電産業：PECVD、ALD設備の真空隔離。
科学研究装置：シンクロトロン光源、パーティクル加速器。
こうぎょうしんくう
5.型式選択の参考
キーパラメータ：
通径寸法（DN 16〜DN 400）。
圧力範囲（大気圧から10°Fまで）。
互換性ガス（腐食性／不活性ガス）。
認証基準：
SEMI F 47（半導体装置の電圧変動抵抗基準）。
CE/UL認証。
6.サービスとサポート
カスタマイズされた設計、迅速な納品、グローバルなテクニカルサポートを提供します。
VAT Configuratorなどのオンライン構成ツールの補助オプション。
瑞士VAT真空阀-真空多阀装置
