スイスVAT真空バタフライ弁61.3−バタフライ制御弁

61.3高真空バタフライ制御弁は優れた圧力制御性能を提供することができる。その迅速かつ正確な作用動作制御器（0.1秒）によって、61.3バタフライ制御弁はCVDとALDプロセスにおける精密制御の理想的な解決策となった。バルブプレートはスロットル要素として機能し、バルブ開度の流路特性を変更することができる。61.3バタフライ制御弁の統合圧力制御器は、設定圧力をできるだけ早く実現するために必要なバルブプレート位置を計算することができる。

このシリーズは、空気流中に粒子がある劣悪な下流プロセスに特化して設計されています。61.3バタフライ制御弁は、粒子荷重が高く、設計によって堆積された屑が存在しても正常に動作することができる。

61.3シリーズはすでに数千の様々なプロセス条件下での要求が厳しいアプリケーションにインストールされており、その信頼性を証明している。61.3シリーズは、堅牢な設計、直接インストールオプション、シンプルで容易なメンテナンスにより、さまざまな点で信頼されています。