スイスVAT真空弁61.7-高真空バタフライ制御弁

VATの最新コントローラ技術に基づいて、61.7 HVバタフライ制御弁は極大圧力範囲内で優れた圧力制御性能を提供することができる。ほぼゼロの導電率から、バルブは0.5秒以内に導電率に達することができる。迅速に反応し、正確なコントローラは、作業範囲全体で非常に細かい圧力制御を実現します。圧力制御機能は検証されたVAT設計原理に基づいており、弁開口の伝導性を変更するために弁板をスロットル要素として使用する。

61.7 HVバタフライ制御弁は外部圧力センサと結合し、真空チャンバ中の正確な圧力を制御することができる。このため、VATコントローラは、ホストシステムが設定した設定圧力とチャンバで測定した圧力を使用して、設定圧力に達するまでバルブプレートの位置を変更します。

61.7 HVバタフライ制御弁は隔離弁として設計されていませんが、ゼロコンダクタンスで動作することができます。これは、プレート上の弾性体がゼロコンダクタンス位置で弁体に接触することによって実現される。しかし、弾性体のこの公称圧縮は、気密シールを効果的に形成することはできない。

VATの独自設計は、プレートシールによる弁体の均一分布圧縮を確保し、それによってコンダクタンス曲線の安定した上昇を実現することができる。この点で、61.7 HVバタフライ制御弁は、特に高圧及び低流量の操作環境を必要とする用途に適している。

61.7 HVバタフライ制御弁の動作温度範囲は150°Cに達するため、例えばプロセス温度を高めることによって気流凝縮を回避することを目的としたプロセスなどの熱プロセスに最適である。

61シリーズ、特に61.7シリーズの設計理念は、さまざまなプロセス条件の下で数千種類の厳しいアプリケーションに実装されており、その信頼性が証明されています。61.7シリーズは、堅牢な設計と削減されたメンテナンスが容易な特徴により、さまざまな点で信頼されています。

61.7 HVバタフライ制御弁には、弁体材料、表面処理、エラストマー材料、フランジ接続、絞り要素、およびカスタム制御アルゴリズム（すなわち、適応、固定PI下流/ソフトポンプ）を含む様々な設計オプションがある。さまざまな設計オプションにより、61.7シリーズをさまざまなアプリケーションに容易に統合し、既存のシステムを改造することができます。